长川科技(内江)有限公司程高飞获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(内江)有限公司申请的专利翻转机械臂装置及晶圆测试设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116276931B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310441413.2,技术领域涉及:B25J9/04;该发明授权翻转机械臂装置及晶圆测试设备是由程高飞;杨奎设计研发完成,并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本翻转机械臂装置及晶圆测试设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种翻转机械臂装置及晶圆测试设备,涉及半导体测试技术领域,本发明提供的翻转机械臂装置包括机架、驱动机构和机械主臂,驱动机构安装于机架上,驱动机构与机械主臂连接,以带动机械主臂相对于机架转动,机械主臂沿垂直于自身转动轴线的方向相对于驱动机构的位置可调,机械主臂上安装有用于承载测试机的辅助臂,测试机可调设置于所述辅助臂上。本发明提供的翻转机械臂装置可通过调节机械主臂的位置,来辅助实现测试机位置的调节,调节时无需将测试机拆卸下来,操作简单、省力,同时具有维护便捷性和对接重复性佳的优点,易于保证测试机的对接精度,提高测试效率。
本发明授权翻转机械臂装置及晶圆测试设备在权利要求书中公布了:1.一种翻转机械臂装置,其特征在于,包括机架1、驱动机构2和机械主臂3,所述驱动机构2安装于所述机架1上,所述驱动机构2与所述机械主臂3连接,以带动所述机械主臂3相对于所述机架1转动,所述机械主臂3沿垂直于自身转动轴线的方向相对于所述驱动机构2的位置可调,所述机械主臂3上安装有用于承载测试机4的辅助臂5,所述测试机4可调设置于所述辅助臂5上; 所述辅助臂5包括抱臂本体51以及用于安装测试机4的调节结构53; 所述抱臂本体51用于与机械主臂3连接并沿Y向开设有通槽; 所述调节结构53包括球型轴承5316以及固定安装于所述球型轴承5316内圈的衬套座5317;还包括安装件、限位件、固定罩5313以及与所述固定罩5313连接的滑移板组; 所述安装件包括支撑轴532以及安装于所述支撑轴532端部的安装板533;所述支撑轴532沿Y向可相对于所述衬套座5317滑动;所述安装板533上具有用于与所述测试机4接触贴合的安装平面5331;所述滑移板组贯穿所述抱臂本体51的通槽并沿X向与所述抱臂本体51滑动配合,所述球型轴承5316安装于所述滑移板组上;所述固定罩5313位于所述抱臂本体51的外侧,所述支撑轴532背离所述安装板533的一端伸入至所述固定罩5313内,所述限位件伸入所述固定罩5313并与所述固定罩5313活动连接,所述限位件用于限定所述支撑轴532沿Y向的位置以及以X向和Z向为轴时的转动角度。
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