西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)马世杰获国家专利权
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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利一种对CdZnTe单晶晶片选划装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116460996B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310322303.4,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种对CdZnTe单晶晶片选划装置是由马世杰;马海亮;赵忠志;韦杰;孙丽娜;张佳欢;邢夏斌设计研发完成,并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种对CdZnTe单晶晶片选划装置在说明书摘要公布了:一种对CdZnTe单晶晶片选划装置,包括底座,所述底座上安装有晶片放置平台、上料升降单元、上料传输单元、第一图像识别单元、第一光源单元、晶片磨削平台、晶片磨削单元、横向传输单元、晶片甩干单元、晶片划切单元、第二图像识别单元、第二光源单元、下料单元和测厚单元。本发明可替代操作人员对晶片进行批量的、自动的识别和划切,有效的提升了劳动效率,解放了生产力;减少了晶片对人员的污染,提高了人员保护率;设备能够稳定生产,提高了划切的质量;自动识别,提升了识别的精度,减少了材料的浪费。
本发明授权一种对CdZnTe单晶晶片选划装置在权利要求书中公布了:1.一种对CdZnTe单晶晶片选划装置,包括底座,所述底座上安装有晶片放置平台,其特征在于,还包括有: 上料升降单元,包括升降伺服电机和置料平台,所述升降伺服电机安装于所述底座上,所述置料平台安装于升降伺服电机的动力输出轴上端,所述置料平台用于放置晶片;上料传输单元,包括上料轨道、传输气缸、上料升降气缸和上料吸盘,所述上料轨道安装于所述底座上,所述传输气缸安装于所述上料轨道的一端,所述上料升降气缸的壳体滑动安装于所述上料轨道上,所述上料吸盘安装于所述上料升降气缸的动力输出轴上; 第一图像识别单元,包括第一工业相机和第一图像处理器,所述第一工业相机通过第一支架安装于所述底座上,且所述第一工业相机的镜头面向所述晶片放置平台,所述第一图像处理器与所述第一工业相机通讯连接,用于处理来自第一工业相机拍摄的照片; 第一光源单元,包括第一光源和第一固定环,所述第一固定环安装于所述底座上,所述第一光源均布安装于所述第一固定环的下端面上,所述第一工业相机位于所述第一固定环的轴线上方;第一光源单元依次亮灯,同时第一图像识别单元开始识别,并将图像信息反馈到中央处理器,生成后续的磨削路径; 晶片磨削平台,所述晶片磨削平台安装于旋转电机的动力输出轴上,所述旋转电机安装于所述底座上,所述晶片磨削平台上安装有四个磨削吸盘;所述晶片磨削平台位于晶片放置平台的后侧; 晶片磨削单元,包括工作台伺服电机、磨削导轨、磨削伺服电机和磨削砂轮,所述工作台伺服电机通过机架安装于所述底座上,所述工作台伺服电机安装于所述机架上,所述磨削导轨安装于所述机架上,所述磨削伺服电机滑动安装于所述磨削导轨上,且所述工作台伺服电机的动力输出轴与所述磨削伺服电机的外壳连接,所述磨削砂轮安装于所述磨削伺服电机的动力输出轴上;所述磨削砂轮位于所述晶片磨削平台的上方; 横向传输单元,包括传输伺服电机、下料升降气缸和下料吸盘,所述传输伺服电机通过横向传输架安装在所述底座上,所述传输伺服电机的动力输出轴与所述下料升降气缸连接,所述下料吸盘安装于所述下料升降气缸的动力输出轴上;所述下料吸盘滑动设置于晶片磨削平台的上方; 晶片甩干单元,包括甩干仓、甩干伺服电机和晶片吸盘旋转轴,所述甩干伺服电机安装于所述底座上,所述晶片吸盘旋转轴安装于所述甩干伺服电机的动力输出轴上,所述甩干仓安装于所述底座上,并将晶片吸盘旋转轴罩在中间; 晶片划切单元,包括吸附平台、划切刀具、划切伺服电机和丝杆动力组件,所述吸附平台和所述丝杆动力组件安装于所述底座上,所述划切伺服电机安装于所述丝杆动力组件的主转轴上,且所述划切伺服电机位于所述吸附平台的正上方,所述划切刀具安装于所述划切伺服电机的动力输出轴上;所述横向传输架从晶片磨削单元延伸至晶片划切单元,所述晶片甩干单元位于晶片磨削单元和晶片划切单元中间; 第二图像识别单元,包括第二工业相机和第二图像处理器,所述第二工业相机通过第二支架安装于所述底座上,且所述第二工业相机的镜头面向所述吸附平台,所述第二图像处理器与所述第二工业相机通讯连接,用于处理来自第二工业相机拍摄的照片; 第二光源单元,包括第二光源和第二固定环,所述第二固定环安装于所述底座上,所述第二光源均布安装于所述第二固定环的下端面上;所述第二工业相机位于所述第二固定环的轴线上方;第二光源单元依次亮灯,同时第二图像识别单元开始识别,并将图像信息反馈到中央处理器,生成后续的划切路径; 下料单元,包括下料伺服电机和下料平台,所述下料伺服电机安装于所述底座上,所述下料平台安装于所述下料伺服电机的动力输出轴上,所述下料平台用于单晶与杂晶的放置。
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