北京大学马利豪获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116465479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310346685.4，技术领域涉及：G01H11/06；该发明授权一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置是由马利豪;周聪;杨振川;高成臣;郝一龙设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置，属于三维空间中声音信号技术领域。本发明利用在两对平行对应的侧面上摆放MEMS声矢量敏感芯片，4个MEMS声矢量敏感芯片的敏感方向和水平方向可以是任意角度，通过对这4路矢量振速信号进行解算，从而获得三维空间中声音信号分布。本发明与传统的正交结构相比，可以减小因MEMS声矢量敏感芯片不共点带来的指向性不对称问题，降低了轴向灵敏度的不对称性，同时也为后端的共点校正提供的可能性。除此之外，因为MEMS声矢量敏感芯片可以任意角度摆放，可以减少装配时因芯片摆放角度误差带来的问题。
本发明授权一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法，其步骤包括： 1将4个MEMS声矢量敏感芯片分别设置在两对平行对应的侧面上，上述两对平行对应的侧面相互垂直，其中，每个侧面上的MEMS声矢量敏感芯片的敏感平面上敏感方向与水平方向夹角分别是b1，b2，b3，b4，均为任意角度； 2获取一对平行侧面上的两个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号V1和V3，以及在另一平行侧面上的两个MEMS声矢量敏感芯片的振速信号V2和V4，按照如下公式计算分别得到Y轴、Z轴方向上的声粒子振速信号分量；
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