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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116661140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310707084.1，技术领域涉及：G02B27/00；该发明授权一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统是由彭安杰;乔大勇;陈真;何叶;袁仕俊设计研发完成，并于2023-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统，包括建立静电MEMS微镜的动力学方程，获取驱动力矩，并建立驱动力矩表达式；建立不同梳齿到转轴距离的驱动器的有限元模型，并对有限元模型进行仿真，获取不同驱动器电容与角度的关系，并对获取的不同驱动器电容与角度的关系进行拟合，获取驱动器电容表达式；基于获取的驱动器电容表达式、驱动力矩表达式和静电MEMS微镜的动力学方程得到谐振振幅的表达式，并基于谐振振幅的表达式获取不同梳齿到转轴距离下静电MEMS微镜的谐振振幅；选取所有谐振振幅中的最大值对应的梳齿到转轴距离对MEMS微镜的驱动器进行优化。使得MEMS微镜能达到最大的扫描角度，进而满足静电MEMS微镜在大视场应用场景中的需求。

本发明授权一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：建立静电MEMS微镜的动力学方程，获取驱动力矩，并建立驱动力矩表达式； S2：建立不同梳齿到转轴距离的静电驱动器的有限元模型，并对有限元模型进行仿真，获取不同驱动器电容与角度的关系，并对获取的不同驱动器电容与角度的关系进行拟合，获取驱动器电容表达式； S3：基于获取的驱动器电容表达式、驱动力矩表达式和静电MEMS微镜的动力学方程得到谐振振幅的表达式，并基于谐振振幅的表达式获取不同梳齿到转轴距离下静电MEMS微镜的谐振振幅； S4：选取所有谐振振幅中的最大值对应的梳齿到转轴距离作为优化参数，并基于选取的最大值对MEMS微镜的驱动器进行优化； 所述步骤S1包括以下步骤： 通过公式1建立静电MEMS微镜的动力学方程： 式中，J为镜面的转动惯量；θ为镜面转角；c为静电MEMS微镜系统的阻尼系数；k为扭转梁的刚度；M为驱动力矩； 其中，驱动力矩M的表达式通过公式2表达： 式中，U是驱动电压，C是驱动器动梳齿与静梳齿间的电容； 所述驱动电压U的表达式为： 式中，Um是高电平；ω是驱动频率； 所述步骤S2包括以下步骤： 通过公式4建立驱动器电容表达式： 式中，b0、b1、b2为拟合系数； 所述步骤S3包括以下步骤： 将驱动器电容表达式带入到驱动力矩表达式中，再将驱动力矩表达式带入到静电MEMS微镜的动力学方程中求解得到谐振振幅的表达式； 所述步骤S3中，将驱动器电容表达式带入到驱动力矩表达式中得到： 式中，U是驱动电压；b0和b1为拟合系数； 所述步骤S3中，通过公式6建立谐振振幅的表达式： 式中，J表示镜面转动惯量；c表示统阻尼系数；Um表示高电平。

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