宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种铝硅靶材及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116695035B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310837030.7，技术领域涉及：C22F1/043；该发明授权一种铝硅靶材及其制备方法与应用是由姚力军;潘杰;周敏;陈勇军;周友平设计研发完成，并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铝硅靶材及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种铝硅靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：1对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯；2对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯；所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制；所述第二热处理和第三热处理之间还包括第二压制；3对所得轧制靶坯进行机加工，得到所述铝硅靶材。本发明设计了一种铝硅靶材的制备工艺，通过三次热处理并在间隙进行两次轧制，对靶材的内部结构的晶向占优进行了调控，优化了内部的组织结构，从而确保了薄膜质量及成品率。
本发明授权一种铝硅靶材及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种铝硅靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤： 1对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯； 2对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯； 所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制；所述第二热处理和第三热处理之间还包括第二压制； 所述第一热处理的温度为140~200℃；所述第一热处理的升温速率为4~6℃min；所述第二热处理的温度为140~200℃；所述第二热处理的升温速率为4~6℃min；所述第三热处理的温度为305~320℃；所述第三热处理的升温速率为4~6℃min； 所述第一压制的总形变量为65~80%；所述第二压制的总形变量为20~40%； 3对所得轧制靶坯进行机加工，得到所述铝硅靶材。
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