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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116773851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310655177.4，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器是由马徐进;刘骅锋;马怡秋;焦世民;周泽兵设计研发完成，并于2023-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器，包括双腔传感单元和光学检测单元，其中，双腔传感单元包括依次间隔平行设置的弹簧振子结构、MEMS凹面镜和MEMS平面镜，弹簧振子结构包括质量块、悬浮梁和外框架，质量块和MEMS凹面镜之间构成传感作用的平凹型F‑P腔，MEMS凹面镜和MEMS平面镜之间构成储备F‑P腔，储备F‑P腔与平凹型F‑P腔以反共振状态匹配；光学检测单元包括调制光路、传输光路和光电探测部件。本发明在传统传感F‑P腔的基础上，搭建参数匹配的储备F‑P腔，能够有效提高传感器的品质因数，并能够在相对较低反射率下，实现较高品质因数，有效降低器件制造的难度与成本。

本发明授权基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器，其特征在于，包括双腔传感单元和光学检测单元，所述双腔传感单元包括依次间隔平行设置的弹簧振子结构、MEMS凹面镜和MEMS平面镜，所述弹簧振子结构包括质量块、悬浮梁和外框架，质量块通过悬浮梁连接外框架，质量块和MEMS凹面镜之间构成传感作用的平凹型F-P腔，MEMS凹面镜和MEMS平面镜之间构成储备F-P腔，所述储备F-P腔与平凹型F-P腔以反共振状态匹配；所述光学检测单元包括调制光路、传输光路和光电探测部件； 其中，所述调制光路用于调制入射的1500nm激光波长，使激光波长失谐锁定在谐振峰一侧的工作点；所述传输光路用于将确定波长后的激光传输至双腔传感单元；所述双腔传感单元用于将外界加速度激励转换为质量块的位移，并通过平凹型F-P腔进行多光束干涉，然后将携带加速度信息的反射光通过传输光路发送至光电探测部件进行加速度测量。

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