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龙图腾网获悉西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116791033B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310985318.9，技术领域涉及：C23C14/14；该发明授权一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法是由胡小刚;薛力源;高志文;江海霞;刘刚;邱龙时设计研发完成，并于2023-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种核用超厚ZrTiTi35耐蚀涂层的制备方法，包括以下步骤：一、将核级靶材安装于镀膜机中；二、将基材喷砂、超声清洗和吹干，然后装入镀膜机中进行预处理；三、将装有预处理基材的镀膜机中抽真空后进行清洗，得到洁净基材；四、将洁净基材依次沉积Zr金属过渡层和TiTi35耐蚀功能层，在洁净基材表面得到超厚ZrTiTi35耐蚀涂层。本发明采用物理气相沉积技术制备的大厚度ZrTiTi35涂层组织结构均匀致密，整体贯穿性缺陷少，可在沸腾浓强酸腐蚀介质中，对低成本不耐蚀的基体材料产生30年以上的表面防护作用，大幅降低核材料主体的成本，不仅适用于核化工，还可推广至民用材料的表面强化。

本发明授权一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种核用超厚ZrTiTi35耐蚀涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、将核级Zr靶材、核级Ti靶材和核级Ti35靶材安装于镀膜机中，得到装有靶材的镀膜机； 步骤二、将基材依次进行喷砂、超声清洗和吹干，然后通过工装夹具装入步骤一中得到的装有靶材的镀膜机中后对基材进行预处理，得到装有预处理基材的镀膜机； 步骤三、将步骤二中得到装有预处理基材的镀膜机中抽真空后对预处理基材进行清洗，得到洁净基材；所述清洗为高偏压轰击清洗或IET刻蚀清洗； 步骤四、将步骤三中得到的洁净基材依次沉积Zr金属过渡层和TiTi35耐蚀功能层，在洁净基材表面得到超厚ZrTiTi35耐蚀涂层； 所述沉积Zr金属过渡层和TiTi35耐蚀功能层的过程为： 步骤101、在镀膜机的真空室内通入高纯氩气并维持真空度为0.5Pa~3Pa，采用机械引弧或高频高压引弧打燃核级Zr靶材，电流80A~150A，调节偏压至-100V~-150V，占空比40%~60%，沉积时间为5min~30min，得到厚度为300nm~2μm的Zr金属过渡层； 步骤102、逐个熄灭核级Zr靶材并对应的逐个打开核级Ti靶材，并保持弧电流80A~200A，偏压-80V~-150V，占空比20%~80%，沉积时间为2min~30min，得到厚度为500nm~5μm的Ti层； 步骤103、调整核级Ti靶与核级Ti35靶参数，沉积共3h~12h，得到厚度为10μm~40μm的超厚ZrTiTi35涂层。

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