中国科学院上海高等研究院吴衍青获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海高等研究院申请的专利一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116828680B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310663728.1，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源是由吴衍青;卢启鹏;龙家丽;芶富均;胡智民设计研发完成，并于2023-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源在说明书摘要公布了：本发明提供一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源，包括来自于靶材发生器的靶材、以及对准靶材的同步辐射产生装置，同步辐射产生装置设置为将带有高次谐波的同步辐射主脉冲引入并照射到等离子体上，所述等离子体极紫外光源还包括产生并向靶材发射电离靶材的波束以得到等离子体的等离子体产生装置，波束为高功率激光或高能量的同步辐射预脉冲。本发明的等离子体极紫外光源将带有高次谐波的同步辐射作为驱动光源与等离子体作用，高效激发产生一定波长的高功率极紫外光，从而有效利用现有同步辐射光源杂余波，实现极紫外光的高功率输出。
本发明授权一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源在权利要求书中公布了：1.一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源，其特征在于，包括来自于靶材发生器的靶材、以及对准所述靶材的同步辐射产生装置，所述同步辐射产生装置设置为将带有高次谐波的同步辐射主脉冲引入并照射到等离子体上； 所述等离子体极紫外光源还包括设置为产生并向所述靶材发射电离所述靶材的波束以得到等离子体的等离子体产生装置，所述波束为高功率激光或高能量的同步辐射预脉冲；其中，所述高功率激光由辅助高功率激光模块产生；所述高能量的同步辐射预脉冲由同步辐射产生装置产生；同步辐射主脉冲中的高次谐波作为驱动光源，与所述等离子体相互作用，离子退激产生所需频率的极紫外光，所述同步辐射主脉冲的长度为10ps量级，功率为100W~2000W。
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