河南平原光电有限公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉河南平原光电有限公司申请的专利光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116855889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310834012.3,技术领域涉及:C23C14/18;该发明授权光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法是由张勇;郭浩宇;魏松坡;廉继西;张金豹;杨资阳;王苗苗;白涛;苏颖;张恒华;张成群;耿浩设计研发完成,并于2023-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于光电产品加工技术领域,具体涉及光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法,包括如下步骤:S1、对光学玻璃清擦处理;S2、将光学玻璃置于镀膜工装上,使用镀膜机蒸镀ITO导电膜;S3、镀膜后的光学玻璃检验透过率;S4、光学玻璃置于镀电极工装,在光学玻璃的电极镀制位置上先蒸镀NiCr底膜,再镀制Cu电极;S5、镀电极后的光学玻璃检验导电率。镀电极工装的中间球面鼓肚的内径面弧度半径SR=24.85mm,外径面弧度半径SR=27.8mm,保证光学玻璃的凸面与球面鼓肚的凹面之间≤0.2mm的缝隙。该镀制方法提高了球形导电膜及电极的制备效率、光谱性能和抗磨强度,解决Cu电极牢固度差、易脱落的问题。
本发明授权光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法在权利要求书中公布了:1.光学玻璃基底球形导电膜和电极的制备方法,包括如下步骤: S1、对光学玻璃进行清擦处理,保证光学玻璃基底的洁净度;所述光学玻璃为球面玻璃; S2、将所述光学玻璃放置到镀膜工装上,光学玻璃的凸面置于镀膜工装的镀膜孔内;将所述镀膜工装连同光学玻璃一起放置到镀膜机内进行导电膜镀制,通过蒸镀方式在光学玻璃基底上镀制ITO导电膜,并进行烘烤干燥; 所述镀膜工装为平面圆环形结构,镀膜工装中心开设有镀膜孔,所述镀膜孔为圆形通孔; S3、对镀膜后的光学玻璃进行透过率检验;筛分出透过率合格的光学玻璃; S4、将透过率合格的光学玻璃放置到镀电极工装上,再将所述镀电极工装连同光学玻璃一起放置到镀膜机内;通过蒸镀方式在光学玻璃的电极镀制位置上,先镀制NiCr底膜,然后再镀制Cu电极,并进行烘烤干燥; 所述镀电极工装在所述镀膜工装的基础上,又在其中心的圆形通孔中间固定镶嵌一个与所述光学玻璃相匹配的球面鼓肚,并且球面鼓肚边缘对称开设有两个用于露出电极镀制位置的镀电极孔; S5、对镀电极后的光学玻璃进行导电率检验;检测光学玻璃Cu电极的电阻值。
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