宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种环形靶材加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116922000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310860173.X,技术领域涉及:B23P15/00;该发明授权一种环形靶材加工方法是由姚力军;潘杰;袁锦泽;陈玉蓉设计研发完成,并于2023-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种环形靶材加工方法在说明书摘要公布了:本发明涉及靶材加工技术领域,具体公开了一种环形靶材加工方法,包括以下步骤:对实心靶坯进行加工,以形成内外侧具有台阶的环形靶坯;将环形靶坯具有台阶的一端焊接于背板上,以形成靶材组件;通过多个平口钳夹持靶材组件,以对背板焊接环形靶坯的一面进行加工以形成台阶面;通过多个平口钳夹持靶材组件,以对背板背离环形靶坯的一面进行精加工。本发明先对实心靶坯进行加工,再将实心靶坯焊接于背板上,能够防止靶材组件在加工时出现变形,并导致环形靶坯与背板脱焊的情况;采用多个平口钳对靶材组件进行夹持,能够分散并减小单个平口钳的夹持力度,最大限度减小因夹持所造成的变形,防止因外力整平过程中,环形靶坯与背板脱焊。
本发明授权一种环形靶材加工方法在权利要求书中公布了:1.一种环形靶材加工方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、对实心靶坯进行加工,以形成内外侧具有台阶的环形靶坯; S2、将环形靶坯具有台阶的一端焊接于背板上,以形成靶材组件; S3、通过多个平口钳夹持所述靶材组件,使得所述靶材组件的所述环形靶坯一侧朝上,以对所述背板焊接所述环形靶坯的一面进行加工以形成台阶面; S4、通过多个平口钳夹持所述靶材组件,使得所述靶材组件的所述背板一侧朝上,以对所述背板背离所述环形靶坯的一面进行精加工; 在步骤S1中,还包括: 对所述实心靶坯进行磨削加工,以缩减所述实心靶坯的厚度; 对所述实心靶坯进行慢走丝切割加工,以形成内外侧具有台阶的所述环形靶坯。
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