乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司刘玉民获国家专利权
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龙图腾网获悉乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司申请的专利在薄膜沉积工艺中从金属卤氧化物前体中除去氧的试剂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117120660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280027149.1，技术领域涉及：C23C16/08；该发明授权在薄膜沉积工艺中从金属卤氧化物前体中除去氧的试剂是由刘玉民;R·A·阿特亚加穆勒;尼古拉斯·布拉斯科;让-马克·吉拉尔;李峰;文卡特斯瓦拉·R·帕伦姆;高政宁设计研发完成，并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本在薄膜沉积工艺中从金属卤氧化物前体中除去氧的试剂在说明书摘要公布了：一种用于在衬底表面上气相沉积金属或金属氮化物膜的方法包括：使金属氧或金属卤氧化物前体与亲氧试剂在容纳有该衬底的反应器中反应以使该金属氧或金属卤氧化物前体脱氧，和通过气相沉积工艺在该衬底上形成该金属或金属氮化物膜。将该衬底同时或依次暴露于该金属卤氧化物前体和该亲氧试剂。在脱氧之后，将该衬底依次暴露于还原剂。
本发明授权在薄膜沉积工艺中从金属卤氧化物前体中除去氧的试剂在权利要求书中公布了：1.一种用于在衬底上沉积金属或金属氮化物膜的方法，该方法包括 使金属卤氧化物前体与亲氧试剂在容纳有该衬底的反应器中反应以使该金属卤氧化物前体脱氧； 在脱氧之后将该衬底依次暴露于还原剂；和 通过气相沉积工艺在该衬底上形成该金属或金属氮化物膜， 其中， 该金属卤氧化物前体是Ma，其中M是Mo、W、V、Nb、Ta和Cr；X是选自Cl、Br或I的卤素；a是M的氧化态并且a是范围从3至6的整数；c是数字，06；e是数字，03；c+2e＝a；并且 该亲氧试剂是Nb，其中N是过渡金属卤化物或卤氧化物，或者第14族或第15族卤化物、卤氧化物或氧化物；X是选自Cl、Br或I的卤素；b是N的氧化态并且b是范围从3至6的整数；d是数字，0≤d6；f是数字，03；d+2f＝b， 其中N的亲氧性高于M的亲氧性， 其中该亲氧试剂和该亲氧试剂的产物是挥发性的。
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