苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117206698B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311144172.1，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法是由赵裕兴;柯凯设计研发完成，并于2023-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法，激光器的输出光路上依次设有扩束镜、功率衰减模组以及用于加载多焦点相位图的空间光调制器一和用于加载像差校正相位图的空间光调制器二，空间光调制器一与空间光调制器二之间的光路上依次设有第一凸透镜、第一反射镜以及第二凸透镜，空间光调制器二的输出光路上依次设有第三凸透镜、第二反射镜、第四凸透镜以及第三反射镜，第三反射镜的反射光路上设有加工物镜。激光光束通过空间光调制器进行相位调制，聚焦于硅晶圆内生成多个焦点，进行像差校正，控制空间光调制器所加载的相位图，生成多个轴向焦点；空间光调制器的光斑整形技术，对隐切过程中折射率失配造成的球差现象进行矫正。
本发明授权基于双空间光调制器的激光切割装置及其方法在权利要求书中公布了：1.基于双空间光调制器的激光切割装置，其特征在于：激光器1的输出光路上依次设有扩束镜2、功率衰减模组3以及用于加载多焦点相位图的空间光调制器一4和用于加载像差校正相位图的空间光调制器二8，空间光调制器一4与空间光调制器二8之间的光路上依次设有第一凸透镜5、第一反射镜6以及第二凸透镜7，空间光调制器二8的输出光路上依次设有第三凸透镜9、第二反射镜10、第四凸透镜11以及第三反射镜12，第三反射镜12的反射光路上设有加工物镜13； 所述空间光调制器一4和空间光调制器二8是波长300nm～1100nm、像素高于30万的空间光调制器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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