安徽越好电子装备有限公司蔡明慧获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利可调节工件位置的真空镀膜设备、镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117265481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311125450.9,技术领域涉及:C23C14/22;该发明授权可调节工件位置的真空镀膜设备、镀膜方法是由蔡明慧;娄国明;徐建柱;沈纬徵;郑博鸿设计研发完成,并于2023-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本可调节工件位置的真空镀膜设备、镀膜方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种可调节工件位置的真空镀膜设备、镀膜方法,可调节工件位置的真空镀膜设备包括:工艺腔,用于真空镀膜;过渡腔,邻接工艺腔设置;工件架,用于承载待镀膜的工件,可在工艺腔和过渡腔之间移动;推动件,活动设置在工件架上,具有第一位置和第二位置,用于推动工件在工件架上移动;第一动力装置,设置于过渡腔内,用于驱动推动件。镀膜方法包括:将工件装载于工件架上,在工艺腔内进行第一次镀膜;工件架带动工件进入过渡腔,推动工件在工件架上发生移位;工件架连同工件返回工艺腔,进行第二次镀膜。本申请在过渡腔内驱动推动件位置切换,带动工件相对工件架进行位置调节,从而暴露出位置调节前的遮挡区域,完成遮挡区域的镀膜。
本发明授权可调节工件位置的真空镀膜设备、镀膜方法在权利要求书中公布了:1.可调节工件位置的真空镀膜设备,其特征在于,包括: 工艺腔,用于真空镀膜; 过渡腔,邻接所述工艺腔设置; 工件架,用于承载待镀膜的工件,可在工艺腔和过渡腔之间移动,所述工件架为立式结构,所述工件架的支撑部分与所述工件相互接触以致所述工件局部被遮挡; 推动件,活动设置在所述工件架上,具有第一位置和高于第一位置的第二位置,用于推动所述工件在工件架上沿竖直方向移动,所述推动件位置切换并带动所述工件相对于所述工件架进行位置调节,从而暴露出位置调节前的遮挡区域; 第一动力装置,设置于所述过渡腔内,用于驱动所述推动件。
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