北京北方华创微电子装备有限公司张文强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种控制方法、装置、半导体设备及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117448796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311415425.4，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种控制方法、装置、半导体设备及计算机可读存储介质是由张文强;王昊;扈继超;王歆銘;秦海丰;任晓艳设计研发完成，并于2023-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种控制方法、装置、半导体设备及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种控制方法、装置、半导体设备及计算机可读存储介质，所述控制方法响应于携带有目标腔室组信息的抽气指令，控制与目标并行腔室组对应的阀门组打开，控制所述抽气泵对所述目标并行腔室组中的各所述过渡腔室均进行抽真空操作。在该过程中，由于目标并行腔室组中的至少两个所述过渡腔室对应同一个所述阀门组，避免了由于不同的过渡腔室由不同的阀门组控制而导致的抽真空开始时间有差异的情况，避免了因此导致的不同过渡腔室之间的腔室压力差过大的问题，从而减少了由于不同过渡腔室之间的腔室压力差过大而导致抽气管路中的颗粒吹进压力较小的过渡腔室中的情况，实现了减少过渡腔室污染的目的。
本发明授权一种控制方法、装置、半导体设备及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种控制方法，其特征在于，应用于半导体设备，所述半导体设备包括抽气泵、至少一并行腔室组和至少一阀门组，每一所述并行腔室组包括至少两个过渡腔室，每一所述并行腔室组对应同一所述阀门组，同一所述并行腔室组中的各所述过渡腔室均通过对应的同一所述阀门组与所述抽气泵连接，所述并行腔室组中的过渡腔室在工作过程中同时被使用，每一所述并行腔室组对应同一所述阀门组是指每一所述并行腔室组中的全部过渡腔室的抽气控制节点由同一阀门组控制，该阀门组控制该抽气控制节点的开启和关闭，所述控制方法包括： 响应于携带有目标腔室组信息的抽气指令，控制与目标并行腔室组对应的阀门组打开，控制所述抽气泵对所述目标并行腔室组中的各所述过渡腔室均进行抽真空操作； 所述目标腔室组信息用于表征所述目标并行腔室组。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励