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湖北兴福电子材料股份有限公司叶瑞获国家专利权

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龙图腾网获悉湖北兴福电子材料股份有限公司申请的专利一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅及合成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117658153B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311384170.X,技术领域涉及:C01B33/145;该发明授权一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅及合成方法是由叶瑞;严凡;贺兆波;姜飞;张庭;班昌胜;冯帆;冯凯;王书萍;樊澌;罗月;陈小超;罗海燕设计研发完成,并于2023-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅及合成方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅及合成方法,采用种子预制法,现将部分有机硅烷滴加至含有多元醇和粒径稳定剂的碱性水溶液中,搅拌预制种子,然后继续滴加剩下的有机硅烷制备得到溶胶二氧化硅。本发明制备得到的溶胶二氧化硅粒径可控、分散度低,具有优异的稳定性,可用于蚀刻液中提高对Si3N4SiO2的选择比,从而提升担保提的制造层数;同时制备得到的具有较高粒径的溶胶二氧化硅可以用于CMP磨料中,显著提高抛光性能,有效丰富国内半导体抛光材料的市场。

本发明授权一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅及合成方法在权利要求书中公布了:1.一种粒径可控分散度低的溶胶二氧化硅的合成方法,其特征在于:包括以下步骤: 1母液配制:在去离子水中加入氨水调节pH为11-12.5,然后按比例加入多元醇和粒径稳定剂,混合均匀得到母液; 2种子预制:在母液中滴加有机硅烷,边搅拌边升温,滴加结束后保温3h得到种子液; 3二次滴加:在种子液中滴加剩余有机硅烷,并保持溶液pH>8,滴加完毕后保温3h得到溶胶二氧化硅; 所述溶胶二氧化硅包括下述质量百分数的原料:10-30%有机硅烷,0.3-3%碱性物质,0.1-1%粒径稳定剂,0.01-0.2%多元醇,余量为去离子水; 所述多元醇为二乙二醇、一缩二乙二醇、丙三醇、乙二醇、异丙醇、季戊四醇中的任一种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖北兴福电子材料股份有限公司,其通讯地址为:443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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