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中科光智(重庆)科技有限公司徐磊获国家专利权

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龙图腾网获悉中科光智(重庆)科技有限公司申请的专利一种微波等离子磁性旋转支架获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117696579B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410112670.6,技术领域涉及:B08B13/00;该发明授权一种微波等离子磁性旋转支架是由徐磊;田鹏康;刘星;张镜设计研发完成,并于2024-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种微波等离子磁性旋转支架在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微波等离子磁性旋转支架,包括,上置料平台,用于放置待清洗芯片;下置料平台,相对于上置料平台的表面平行设置,两者之间设置有磁铁组块;吸气组件,其吸气口位于上置料平台的待清洗芯片的上方,用于将待清洗芯片吸引、脱离上置料平台的表面。本发明通过设置吸气组件,其吸气口位于上置料平台的待清洗芯片的上方,通过吸气作用,可以将待清洗芯片吸引并提升、脱离上置料平台的表面,从而可以使得待清洗芯片的另一表面完全裸露在外,当待清洗芯片的上表面清洗完成后,再通过吸气组件将待清洗芯片吸引提升,则可以充分地与所覆盖在上置料平台上的等离子体进行接触,从而保证对待清洗芯片的清洗品质。

本发明授权一种微波等离子磁性旋转支架在权利要求书中公布了:1.一种微波等离子磁性旋转支架,其特征在于:包括, 上置料平台,用于放置待清洗芯片; 下置料平台,相对于上置料平台的表面平行设置,两者之间设置有磁铁组块; 吸气组件,其吸气口位于上置料平台的待清洗芯片的上方,用于将待清洗芯片吸引、脱离上置料平台的表面; 多根置料立柱,从上至下垂直地、依次穿设于上置料平台和下置料平台; 其中一根置料立柱为主置料立柱,穿设于上置料平台和下置料平台的正中央侧壁处,且置料立柱内部为中空结构; 主置料立柱的一侧与吸气组件的吸气口连通,主置料立柱的另一侧连接有抽气泵; 吸气组件至少包括上吸盘管件,其上吸盘管件包括上连接管,一端垂直地与主置料立柱连通;上吸盘,与上连接管的另一端连接,上吸盘位于待清洗芯片的上方、且吸口方向垂直于上置料平台设置; 吸气组件还包括下吸盘管件,其下吸盘管件包括下连接管,一端垂直地与主置料立柱连通;下吸盘,与下连接管的另一端连接,下吸盘位于待清洗芯片的下方、且吸口方向垂直于上置料平台设置; 上连接管与下连接管之间设置有电磁切换阀; 上置料平台和下置料平台数量有多个,上置料平台与下置料平台一一对应、成对设置;成对设置的上置料平台和下置料平台从上往下间隔设置; 上置料平台上表面间隔设置有多个向下凹陷的定位槽,用于将待清洗芯片放置其中进行限位;下吸盘的盘口与待清洗芯片接触设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中科光智(重庆)科技有限公司,其通讯地址为:400712 重庆市北碚区歇马镇歇马街688号(重庆高新区歇马拓展园);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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