中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所时文华获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118080304B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410430649.0，技术领域涉及：B06B1/06；该发明授权压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列是由时文华;石豪;林文魁;张学敏;曾中明;李玉雄;周佳;林栋设计研发完成，并于2024-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列在说明书摘要公布了：本发明公开了一种压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列。压电微机械超声换能器包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，衬底结构内具有谐振腔，多层薄膜谐振结构和声屏障结构间隔设置在衬底结构上，多层薄膜谐振结构沿一三维坐标系的z轴方向设置在谐振腔的上方并完全覆盖谐振腔，声屏障结构包括多个声子晶体单元，多个声子晶体单元按照方形结构排布在多层薄膜谐振结构的周围。本发明将声子晶体单元和PMUT相结合，声子晶体单元对一定频率的声波具有消声效果，能将声信号阻断在声子晶体单元形成的声屏障结构内，通过摩擦发热转换为内能，降低了横向超声波信号的透射率，从而削弱两个PMUT单元之间的串扰。
本发明授权压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列在权利要求书中公布了：1.一种压电微机械超声换能器，其特征在于，包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，所述衬底结构内具有谐振腔，所述多层薄膜谐振结构和所述声屏障结构间隔设置在所述衬底结构上，所述多层薄膜谐振结构沿一三维坐标系的z轴方向设置在所述谐振腔的上方并完全覆盖所述谐振腔，所述声屏障结构包括多个声子晶体单元，所述声子晶体单元是具有四个亥姆赫兹谐振腔的柱状结构，多个所述声子晶体单元按照方形结构排布在所述多层薄膜谐振结构的周围，相邻两个所述声子晶体单元的中心轴之间的直线距离等于所述声子晶体单元的晶格尺寸a，所述多层薄膜谐振结构位于所述方形结构的中心区域。
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