安徽光智科技有限公司梁献波获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利硫系玻璃基底1064nm及7.7-10.5μm增透膜系的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118754457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410921388.2,技术领域涉及:C03C17/34;该发明授权硫系玻璃基底1064nm及7.7-10.5μm增透膜系的制备方法是由梁献波;刘梦佳;张海燕;刘克武设计研发完成,并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本硫系玻璃基底1064nm及7.7-10.5μm增透膜系的制备方法在说明书摘要公布了:一种硫系玻璃基底1064nm及7.7‑10.5μm增透膜系的制备方法包括步骤:S1,将作为镜片的硫系玻璃基底的陪镀片和产品清洁;S2,将清洁的镜片放入工装夹具,挂入真空镀膜机;S3,抽真空,离子源进行清洗;S4,维持真空度,在镜片的第一面蒸镀第一Y2O3膜层;S5,蒸镀第一YbF3膜层;S6,蒸镀第一ZnSe膜层;S7,蒸镀第二YbF3膜层;S8,蒸镀第二ZnSe膜层;S9,蒸镀第三YbF3膜层;S10,蒸镀第二Y2O3膜层;S11,蒸镀第四YbF3膜层;S12,蒸镀第三ZnSe膜层;S13,蒸镀第五YbF3膜层;S14,蒸镀第四ZnSe膜层;S15,第四ZnSe膜层镀制完成后,冷却将工装夹具连同陪镀片和产品取出;S16,重复步骤S1至步骤S15,在镜片的相反的第二面依次蒸镀。
本发明授权硫系玻璃基底1064nm及7.7-10.5μm增透膜系的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种硫系玻璃基底1064nm及7.7-10.5μm增透膜系的制备方法,其特征在于,包括步骤: S1,将作为镜片的硫系玻璃基底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理,硫系玻璃基底为IG06基底,陪镀片的厚度为0.9-1.5mm; S2,将清洁处理好的镜片放入工装夹具,放好镜片的工装夹具挂入真空镀膜机的腔体内,腔体的温度设定为120-130°C; S3,真空镀膜机启动抽真空,真空度达到1.5×10-3Pa,打开真空镀膜机的辅助镀膜的离子源进行清洗,清洗时间为6min,离子源的阳极电压为220V、阳极电流为1.0-2.5A、发射极的电流为1.3-1.5A; S4,维持前述真空度,在镜片的第一面蒸镀第一Y2O3膜层,第一Y2O3膜层的沉积速率为0.3nms,控制第一Y2O3膜层的膜厚为15nm±1nm,不采用离子源辅助蒸镀; S5,在镀制的第一Y2O3膜层上蒸镀第一YbF3膜层,第一YbF3膜层的沉积速率为0.6nms,控制第一YbF3膜层的膜厚为66.2nm±3nm,不采用离子源辅助蒸镀; S6,在镀制的第一YbF3膜层上蒸镀第一ZnSe膜层,第一ZnSe膜层沉积的速率为0.8nms,控制第一ZnSe膜层的膜厚为48.3nm±2nm,不采用离子源辅助蒸镀; S7,在镀制的第一ZnSe膜层上蒸镀第二YbF3膜层,第二YbF3膜层的沉积速率为0.6nms,控制第二YbF3膜层的膜厚为80.2nm±3nm,不采用离子源辅助蒸镀; S8,在镀制的第二YbF3膜层上蒸镀第二ZnSe膜层,第二ZnSe膜层沉积的速率为0.8nms,控制第二ZnSe膜层的膜厚为608.3nm±5nm,不采用离子源辅助蒸镀; S9,在镀制的第二ZnSe膜层上蒸镀第三YbF3膜层,第三YbF3膜层的沉积速率为0.6nms,控制第三YbF3膜层的膜厚为800nm±5nm,不采用离子源辅助蒸镀; S10,在镀制的第三YbF3膜层上蒸镀第二Y2O3膜层,第二Y2O3膜层沉积的速率为0.3nms,控制第二Y2O3膜层的膜厚为15nm±1nm,不采用离子源辅助蒸镀; S11,在镀制的第二Y2O3膜层上蒸镀第四YbF3膜层,第四YbF3膜层的沉积速率为0.6nms,控制第四YbF3膜层的膜厚为421.5nm±5nm,不采用离子源辅助蒸镀; S12,在镀制的第四YbF3膜层上蒸镀第三ZnSe膜层,第三ZnSe膜层的沉积速率为0.8nms,控制第三ZnSe膜层的膜厚为32nm±2nm,不采用离子源辅助蒸镀; S13,在镀制的第三ZnSe膜层上蒸镀第五YbF3膜层,第五YbF3膜层的沉积速率为0.6nms,控制第五YbF3膜层的膜厚为156.8nm±5nm,不采用离子源辅助蒸镀; S14,在镀制的第五YbF3膜层上蒸镀第四ZnSe膜层,第四ZnSe膜层的沉积速率为0.8nms,控制第四ZnSe膜层的膜厚为26nm±1nm,不采用离子源辅助蒸镀; S15,蒸镀第四ZnSe膜层镀制完成后,待真空室冷却至60℃以下将工装夹具连同陪镀片和产品取出; S16,重复步骤S1至步骤S15,在镜片的相反的第二面依次蒸镀第一Y2O3膜层、第一YbF3膜层、第一ZnSe膜层、第二YbF3膜层、第二ZnSe膜层、第三YbF3膜层、第二Y2O3膜层、第四YbF3膜层、第三ZnSe膜层、第五YbF3膜层、第四ZnSe膜层。
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