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龙图腾网获悉安徽富乐德科技发展股份有限公司申请的专利一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119216288B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411682224.5，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺是由李帅雨;贺贤汉;张继月设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺，包括自动机械臂、浸泡篮、按工艺步骤顺序设置的化学混液浸泡槽一、纯水漂洗槽、高压水洗槽、化学混液浸泡槽二、纯水浸泡槽和吹干槽，所述自动机械臂设置在所有槽体的上方，工作端连接浸泡篮，所述化学混液浸泡槽一和化学混液浸泡槽二内设有超声波振板，所述高压水洗槽内设有高压水洗喷嘴，所述吹干槽内设有CDA高压喷嘴，该自动化清洗装置由浸泡槽、纯水槽、高压水洗、CDA吹扫等组成，部件在浸泡篮不再通过人工进行搬送和清洗，选择好需要的作业槽体，设备可以快速完成搬送和作业，清洗槽采用了外循环过滤装置，保证循环的药液的干净，内部采用的防腐超声波振板，利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体间接使污物层被分散、剥离而达到清洗目的；整个清洗装置采用了闭环流程作业，保证部件清洗的有效性。

本发明授权一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置,其特征是:该装置包括自动机械臂、浸泡篮、按工艺步骤顺序设置的化学混液浸泡槽一、纯水漂洗槽、高压水洗槽、化学混液浸泡槽二、纯水浸泡槽和吹干槽,所述自动机械臂设置在所有槽体的上方,工作端连接浸泡篮,所述化学混液浸泡槽一和化学混液浸泡槽二设置了药液循环装置，包括设置在槽体底部的出液口，出液口连接反应釜，反应釜连接过滤装置，过滤装置连接槽体上方的进液口，所述的连接都是通过管道连接，管道上设有水泵，所述化学混液浸泡槽一和化学混液浸泡槽二内设有超声波振板,所述高压水洗槽内设有高压水洗喷嘴,所述吹干槽内设有CDA高压喷嘴；所述的反应釜内药水配方为氟化氨、过氧化氢、高纯水、环六亚甲基四胺，按质量比2:8:8:1比例进行配置，配置好后循环搅拌30min。

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