北京北方华创微电子装备有限公司位思梦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542208B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311099124.5，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法是由位思梦;刘科学;郭信鸽;张翰宁;孙妍设计研发完成，并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法。其中，晶舟结构包括：固定支架，具有固定支撑部；调节机构，设置在固定支架上，调节机构具有多个可移动的辅助支撑部，调节机构具有第一状态和第二状态，在调节机构处于第一状态，至少两个辅助支撑部移动至与固定支撑部齐平的位置；在调节机构处于第二状态，仅有一个辅助支撑部移动至与固定支撑部齐平的位置，以使一个辅助支撑部与固定支撑部共同支撑同一晶圆。本发明的晶舟结构通过设置调节机构可以改变支撑晶圆的支撑点的数量，在使用时，可以根据工艺温度对晶圆支撑点的数量进行调整，从而在避免产生滑移缺陷，同时还可以避免颗粒划伤、污染的问题，提高工艺的良品率。
本发明授权晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶舟结构，其特征在于，包括： 固定支架10，具有固定支撑部； 调节机构30，设置在所述固定支架10上，所述调节机构30具有多个可移动的辅助支撑部31； 所述调节机构30包括：多个移动柱32，多个所述移动柱32可移动地设置在所述固定支架10上，所述辅助支撑部31设置在所述移动柱32上，所述移动柱32通过沿自身轴向移动带动所述辅助支撑部31在与所述固定支撑部齐平的位置，以使至少两个所述辅助支撑部31与所述固定支撑部共同支撑同一晶圆；以及通过沿自身轴向移动带动所述辅助支撑部31在与所述固定支撑部错开的位置，以使一个所述辅助支撑部31与所述固定支撑部共同支撑同一所述晶圆。
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