北京北方华创微电子装备有限公司张楚源获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备及其排气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311246427.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权半导体清洗设备及其排气装置是由张楚源;单思;王广永设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备及其排气装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体清洗设备及其排风装置，排风装置包括排风管路和压力调节机构，其中，排风管路用于与半导体清洗设备的药液收集机构相连，用于半导体清洗设备排风；压力调节机构包括阻尼部和驱动部，阻尼部呈板状，并设置在排风管路中，驱动部固定在排风管路的外侧壁，并通过驱动轴与阻尼部相连，用于带动阻尼部旋转。阻尼部设置在排风管路中，驱动部带动阻尼部旋转，从而改变排风管路道的排风面积，达到调节风速和风压的作用。另外，排风装置仅驱动部设置在排风管路外，阻尼部设置在排风管路内部，因而减小了排风装置占用的空间。
本发明授权半导体清洗设备及其排气装置在权利要求书中公布了：1.一种排风装置，应用于半导体清洗设备，其特征在于，包括排风管路和压力调节机构，其中， 所述排风管路用于与所述半导体清洗设备的药液收集机构相连，用于所述半导体清洗设备排风； 所述压力调节机构包括阻尼部和驱动部，所述阻尼部呈板状，并设置在所述排风管路中，所述驱动部固定在所述排风管路的外侧壁，并通过驱动轴与所述阻尼部相连，用于带动所述阻尼部旋转，以调节排风压力。
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