中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所朱俊舟获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411823965.0，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用是由朱俊舟;上官阳;孙建东;秦华设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用。太赫兹焦平面探测器包括倒装互连的光敏芯片和CMOS读出电路，光敏芯片包括原衬底以及设置在原衬底上的天线阵列，在原衬底背对天线阵列的背面叠层设置x个频率调节补偿板，频率调节补偿板与原衬底的材质相同，调整频率调节补偿板的厚度或数量，从而改变太赫兹焦平面探测器的谐振频率，使太赫兹焦平面探测器在所需频率下的谐振峰对应的谐振频率的实测值接近或等于设计的理论值。本发明通过调整通过增加频率调节补偿板以及调整x个频率补偿调节板厚度，改变响应频谱的周期与响应峰的位置，从而实现对太赫兹焦平面探测器的谐振频率的调节。
本发明授权调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法，所述太赫兹焦平面探测器包括倒装互连的光敏芯片和CMOS读出电路，所述光敏芯片包括原衬底以及设置在所述原衬底上的天线阵列，其特征在于，所述方法还包括： 在所述原衬底背对所述天线阵列的背面叠层设置x个频率调节补偿板，所述频率调节补偿板与所述原衬底的材质相同，并以所述原衬底与所述x个频率调节补偿板整体作为所述光敏芯片的新衬底，以及，调整所述频率调节补偿板的厚度或数量，从而改变所述太赫兹焦平面探测器的谐振频率，使所述太赫兹焦平面探测器在所需频率下的谐振峰对应的谐振频率的实测值接近或等于设计的理论值，若所述谐振峰对应的谐振频率的实测值低于设计值，则对所述新衬底的频率调节补偿板进行减薄处理，若所述谐振峰对应的谐振频率的实测值高于设计值，则更换具有更大厚度值的频率调节补偿板或增加所述频率调节补偿板的数量，x≥1。
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