歌尔微电子股份有限公司王景雪获国家专利权
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龙图腾网获悉歌尔微电子股份有限公司申请的专利MEMS芯片及传感器模组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119738370B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411760277.4，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权MEMS芯片及传感器模组是由王景雪;宋青林;党茂强;刘诗婧设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS芯片及传感器模组在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS芯片及传感器模组，其中的MEMS芯片包括支撑基座以及设置在所述支撑基座上的振膜和背极板，所述振膜与所述背极板形成电容器结构；其中，在所述背极板远离所述振膜的一侧设置有多孔过滤组件；所述多孔过滤组件用于对进入所述电容器结构的振动信号进行筛选；所述振膜根据进入所述电容器结构内的振动信号产生位移，以将所述振动信号转化为电信号。利用上述发明能够提高芯片对目标信号检测的准确度。
本发明授权MEMS芯片及传感器模组在权利要求书中公布了：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括支撑基座以及设置在所述支撑基座上的振膜和背极板，所述振膜与所述背极板形成电容器结构；其中， 在所述背极板远离所述振膜的一侧设置有多孔过滤组件； 所述多孔过滤组件用于对进入所述电容器结构的振动信号进行筛选； 所述振膜根据进入所述电容器结构内的振动信号产生位移，以将所述振动信号转化为电信号； 所述多孔过滤组件包括至少一层多孔膜，根据多孔膜在不同位置的受力差异，在所述多孔膜的不同位置设置密度不同的或者形状不同的孔隙； 可根据待检测的目标气体分子发出的振动信号的频率调整多孔膜孔隙的相关参数，从而利用多孔膜结构的吸声作用将外界非目标频率的声音信号进行吸收，仅保留目标信号的频率的振动信号进入电容器结构内激发振膜振动； 所述多孔膜的孔隙为微孔，所述微孔对不同频段振动信号有吸收作用。
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