北京北方华创微电子装备有限公司周尔京获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利物料调度的监测方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411659287.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权物料调度的监测方法及半导体工艺设备是由周尔京设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本物料调度的监测方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种物料调度的监测方法及半导体工艺设备。其中，该方法包括：接收被监测设备在完成针对一物料的工艺动作后发出的通知；其中，通知至少携带：物料的标识信息，执行工艺动作的腔体的标识及工艺动作的完成时间；基于通知，更新与执行工艺动作的腔体所在的腔体对对应的物料结构信息，其中，物料结构信息包括物料的标识信息及物料在腔体对所对应的两个腔体之间的实际等待时间；响应于更新后的实际等待时间大于对应腔体对预设的时间间隔阈值，输出超时报警信息。本申请可及时发现物料执行完当前工艺后进行下一步工艺的时间是否延误，并在出现延误时输出超时报警信息，方便用户及时采取相应措施以及时止损。
本发明授权物料调度的监测方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种物料调度的监测方法，其特征在于，包括： 接收被监测设备在完成针对一物料的工艺动作后发出的通知；其中，所述通知至少携带：所述物料的标识信息，执行所述工艺动作的腔体的标识及所述工艺动作的完成时间； 基于所述通知，更新与所述执行所述工艺动作的腔体所在的腔体对对应的物料结构信息，其中，所述物料结构信息包括所述物料的标识信息及所述物料在所述腔体对所对应的两个腔体之间的实际等待时间； 响应于更新后的所述实际等待时间大于对应腔体对预设的时间间隔阈值，输出超时报警信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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