重庆中科摇橹船信息科技有限公司梁良获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆中科摇橹船信息科技有限公司申请的专利一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119764234B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411835122.2,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法及系统是由梁良;王侃;邱语聃;威驰军博;谢杰设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于半导体技术领域,公开了一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法及系统,该方法包括图像获取,使用工业相机对置于划片机工作台上的晶圆进行图像拍摄;图像预处理;构建模板;计算晶圆姿态,提取到的晶圆图像中,利用霍夫变换算法检测晶圆图像中的直线段,确定当前晶圆在工作台上的X、Y坐标以及旋转角度θ,以确定晶圆的方向和位置;计算对位误差,晶圆摆正对位和验证位置;本方案通过直接寻找和利用晶圆的直角边特征进行对位,减少了图像处理流程,避免了现有的晶圆对位方法中多尺度模板匹配和霍夫变换算法所需的计算和图像数据处理,减少了数据处理时间;本发明解决了现有的晶圆对位方法处理时间较长的问题。
本发明授权一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于寻找晶圆直角边的晶圆对位方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤S10:图像获取,使用工业相机对置于划片机工作台上的晶圆进行图像拍摄,以获取晶圆的图像; 步骤S20:图像预处理,对采集的晶圆图像进行灰度变换、滤波处理、阈值分割和边缘提取; 步骤S30:构建模板,根据晶圆的已知形状和尺寸,构建一个包含晶圆直角边特征的晶圆模版,所述模板用于后续的图像比对和误差计算; 步骤S40:计算晶圆姿态,在所述步骤S20中提取到的晶圆图像中,利用霍夫变换算法检测晶圆图像中的直线段,确定当前晶圆在工作台上的X、Y坐标以及旋转角度θ,以确定晶圆的方向和位置; 步骤S50:计算对位误差,将所述步骤S40中确定的晶圆图像与步骤S30中构建的晶圆模版进行比对,通过比对分析,计算出晶圆在X、Y方向和旋转角度θ上的摆正误差的大小和方向; 步骤S60:晶圆摆正对位,根据步骤S50中计算出的晶圆姿态和存在的对位误差,通过控制划片机的X、Y、C轴运动,调整晶圆在工作台上的位置和姿态,使晶圆达到预定的位置和姿态; 步骤S70:验证位置,在晶圆摆正后,再次使用工业相机捕获晶圆图像,并将新捕获的图像与晶圆模版进行二次比对;若比对结果显示存在误差且误差超过预设的阈值,则根据反馈信息进行微调,直至晶圆实际摆放位置与晶圆模板之间的偏差小于或等于预设的阈值;最后启动砂轮划片机对晶圆进行切割。
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