东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司董金辉获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶圆传输装置及半导体检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510104605.3，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆传输装置及半导体检测设备是由董金辉;张之光;米涛设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆传输装置及半导体检测设备。晶圆传输装置包括机架；驱动元件，安装于所述机架；旋转件，与所述驱动元件连接，所述驱动元件能驱动所述旋转件旋转；至少一个摆臂，具有承载面，所述摆臂与所述机架转动连接，且所述摆臂与所述旋转件通过导向结构连接，所述旋转件旋转过程中通过所述导向结构引导所述摆臂摆动。本申请提供的晶圆传输装置及半导体检测设备，具有结构简单、加工维护成本低以及占用空间小的优点。
本发明授权晶圆传输装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置包括： 机架1； 驱动元件2，安装于所述机架1； 旋转件3，与所述驱动元件2连接，所述驱动元件2能驱动所述旋转件3旋转，所述旋转件3的旋转轴线沿竖直方向Z延伸； 至少一个摆臂4，具有用于直接或间接地承载晶圆S的承载面，所述摆臂4的第一端与所述机架1转动连接，且所述摆臂4与所述旋转件3通过导向结构M连接，所述旋转件3旋转过程中通过所述导向结构M引导所述摆臂4摆动； 所述摆臂4具有沿第一水平方向X延伸的收纳位置； 所述摆臂4的一部分位于所述旋转件3的上方，在所述摆臂4向偏离所述收纳位置的方向摆动的过程中，沿竖直方向Z，所述摆臂4与所述旋转件3投影重合的区域逐渐向所述摆臂4的第二端靠近。
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