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龙图腾网获悉利晶微电子技术(江苏)有限公司申请的专利一种晶圆剥膜分拣设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120237060B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510416433.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆剥膜分拣设备是由蒲计志;黄子岳;王子翔;潘彤;黄立元设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆剥膜分拣设备在说明书摘要公布了：本申请涉及分拣装置技术领域，公开了一种晶圆剥膜分拣设备，其包括输送装置、搬运装置、剥离装置、除杂装置和分拣装置，剥离装置包括固定台和剥离管，其中：搬运装置通过第一动力源在输送装置和剥离装置之间往复移动；固定台上设有多个固定晶圆的工位；剥离管水平设置，并通过第二动力源在工作区域内部移动；剥离管上设有真空吸附口，剥离管与真空泵连通；剥离管通过第三动力源绕自身轴线转动。本申请具有在提高撕膜的效率的基础上，减少对晶圆的损伤的效果。

本发明授权一种晶圆剥膜分拣设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆剥膜分拣设备，其特征在于：包括输送装置、搬运装置、剥离装置、除杂装置和分拣装置，所述剥离装置包括固定台和剥离管，其中： 所述搬运装置通过第一动力源在所述输送装置和所述剥离装置之间往复移动； 所述固定台上设有多个固定晶圆的工位； 所述剥离管水平设置，并通过第二动力源在工作区域内部移动； 所述剥离管上设有真空吸附口，所述剥离管与真空泵连通； 所述剥离管通过第三动力源绕自身轴线转动； 所述真空吸附口包括第一真空吸附口和第二真空吸附口； 所述第一真空吸附口长度方向和所述剥离管长度方向一致； 所述第二真空吸附口位于靠近所述第一真空吸附口的位置； 所述真空吸附口附近设有可与所述剥离管相对转动的遮挡板； 所述搬运装置包括安装板、吸盘和校准单元，其中： 所述吸盘设于所述安装板同一侧，且所述吸盘设有多个； 所述校准单元包括定位条和调节柱，其中： 所述定位条设于所述安装板上； 所述调节柱滑动设于所述安装板上； 所述定位条和所述调节柱之间形成校准区域； 所述安装板上靠近所述定位条两端的位置设有导向槽； 两个所述导向槽之间的间距沿靠近所述定位条至远离所述定位条的方向逐渐增大； 所述调节柱设有一对，且所述调节柱与所述导向槽相适配； 所述调节柱贯穿所述导向槽，且所述调节柱和所述导向槽滑动配合； 所述调节柱通过第四动力源在导向槽内部移动。

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