先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所卢韶华获国家专利权
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龙图腾网获悉先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所申请的专利一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120467201B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510526821.7，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法是由卢韶华;李亚举;何源;谭腾;钱东斌;王绍伟;王长霖;杨磊;马新文设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光谱测量技术领域，公开了一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，包括以下步骤：激光脉冲聚焦于待检超导腔薄膜的表面，待检超导腔薄膜的表面形成激发微区；对激发微区进行多次激光脉冲的单点烧蚀，记录每一次激光脉冲对应的LIBS光谱；对于每一个记录的LIBS光谱，选取示踪元素，并根据示踪元素的指纹谱线，提取待检特征信息；对每一次激光脉冲对应的烧蚀深度进行测量；建立待检特征信息与烧蚀深度的对应关系；建立厚度预测模型，厚度预测模型表征待检超导腔薄膜的厚度。本发明起到实现加速器超导腔薄膜厚度的便捷、近无损表征的技术效果。
本发明授权一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法在权利要求书中公布了：1.一种表征加速器超导腔薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤： 激光脉冲聚焦于待检超导腔薄膜的表面，对待检超导腔薄膜进行激光脉冲烧蚀，所述待检超导腔薄膜的表面形成激发微区； 对所述激发微区进行多次激光脉冲的单点烧蚀，记录每一次激光脉冲对应的LIBS光谱； 对于每一个记录的LIBS光谱，选取示踪元素，并根据示踪元素的指纹谱线，提取待检特征信息； 对每一次激光脉冲对应的烧蚀深度进行测量； 建立待检特征信息与烧蚀深度的对应关系； 分析待检特征信息与烧蚀深度之间的对应关系，建立厚度预测模型，厚度预测模型所预测的结果用来表征待检超导腔薄膜的厚度； 所述厚度预测模型的建立包括以下步骤： 对每一个指纹谱线的待检特征信息进行强度归一化，获得归一化值I； 建立归一化值I与烧蚀深度的对应关系，分析归一化值I随烧蚀深度之间的变化关系以量化待检超导腔薄膜的厚度。
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