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龙图腾网获悉深圳美电科技有限公司;信阳市图丽光电有限公司申请的专利基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120591729B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511032314.4，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质是由吴福运;侯志军;李东轩;赵锋设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质在说明书摘要公布了：本申请涉及蒸镀过程监控技术领域，公开了一种基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质。该方法包括：对蒸镀腔体内传感器采集数据，经滤波标准化处理获得工艺参数数据；对工艺参数数据进行时频分析和相关性计算，提取关键参数特征；基于关键参数特征设定动态阈值，计算偏离度得到异常指标；根据异常指标实时调整射频功率和基板温度，生成控制方案。本申请能够实时分析多源传感数据之间的复杂关联关系，及时识别异常模式，并在异常状况明显表现前预测潜在问题，通过智能控制策略自动调整工艺参数，从而克服现有技术中监控系统响应滞后、无法实时调整工艺参数的技术缺陷，提高蒸镀过程的稳定性和产品质量一致性。

本发明授权基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质在权利要求书中公布了：1.一种基于数据分析的蒸镀过程监控方法，其特征在于，所述方法包括： 对蒸镀腔体内安装的温度传感器、压力传感器、功率监测器和厚度监测系统采集原始数据，通过滤波和标准化处理，得到蒸镀工艺参数数据； 对所述蒸镀工艺参数数据进行时频分析和参数相关性计算，提取蒸发源温度、腔体压力和沉积速率的变化特征，得到蒸镀过程关键参数特征，包括：对所述蒸镀工艺参数数据进行固定窗口切分，计算蒸发源温度、腔体压力和沉积速率在各窗口内的统计矩特征和趋势特征，得到参数时域特征；对所述蒸镀工艺参数数据执行快速傅里叶变换，提取功率谱密度曲线，识别蒸发源温度、腔体压力和沉积速率的周期性波动成分，得到参数频域特征；对所述蒸镀工艺参数数据应用小波变换或希尔伯特变换，捕获蒸发源温度、腔体压力和沉积速率的时变频率特性，得到参数时频特征；对所述参数时域特征、参数频域特征和参数时频特征计算样本熵值和多尺度熵值，量化参数波动的复杂度，得到参数复杂度特征；基于所述参数时域特征、参数频域特征、参数时频特征和参数复杂度特征，计算蒸发源温度、腔体压力和沉积速率之间的皮尔逊相关系数和互信息值，得到参数关联矩阵；对所述参数关联矩阵应用偏相关分析和条件独立性检验，消除间接关联影响，确定参数间的因果关系和时间延迟，得到所述蒸镀过程关键参数特征； 基于所述蒸镀过程关键参数特征，通过设定动态阈值进行偏差分析，计算参数实时值与标准值的偏离程度，得到蒸镀过程异常指标； 根据所述蒸镀过程异常指标，对射频功率输入和基板温度控制进行实时调整，生成修正控制指令，得到蒸镀腔体内薄膜生长的目标控制方案。

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