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龙图腾网获悉义柏科技(深圳)有限公司申请的专利一种带有位置矫正功能的晶圆载具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120727626B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510893710.X，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权一种带有位置矫正功能的晶圆载具是由邱摩西;陈松平;刘汝拯设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带有位置矫正功能的晶圆载具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带有位置矫正功能的晶圆载具，涉及晶圆载具技术领域。包括底座，底座上侧设置有固定筒，固定筒外侧安装有减震弹簧，固定筒下侧埋设有第一线圈，第一线圈两端与控制系统电性连接，固定筒内部安装有导向柱，固定筒和导向柱之间安装有检测球和推动板，导向柱上侧设置有载物板，载物板上承载有晶圆，载物板上设置有传导介质，传导介质受到洛伦兹力的影响，将沿外圈电极的内壁环形流动，使加热后的传导介质在加热腔室内环形流动，使传导介质持续与加热丝接触，进而使传导介质的温度更加均匀，以使加热腔室的整体温度变得均匀，以便于载物槽对晶圆和托盘预热，以使晶圆达到所需温度，提高晶圆的处理效率。

本发明授权一种带有位置矫正功能的晶圆载具在权利要求书中公布了：1.一种带有位置矫正功能的晶圆载具，其特征在于：晶圆载具包括底座11，所述底座11上侧设置有固定筒12，所述固定筒12外侧安装有减震弹簧121，所述固定筒12下侧埋设有第一线圈122，所述第一线圈122两端与控制系统电性连接，所述固定筒12内部安装有导向柱13，所述固定筒12和导向柱13之间安装有检测球15和推动板16，所述导向柱13上侧设置有载物板14，所述载物板14上承载有晶圆； 所述固定筒12内部中空，所述固定筒12内部设置有若干个滑动槽，所述导向柱13下侧设置有若干个滑动板131，若干个所述滑动板131分别滑动安装于若干个滑动槽内，若干个所述滑动板131上依次设置有两组圆筒，所述检测球15设置有两组，两组所述检测球15滑动安装于两组圆筒内，所述检测球15和圆筒之间连接有第一弹簧，所述检测球15表面设置有薄膜压力传感器，所述圆筒内安装有位移传感器，所述薄膜压力传感器和位移传感器均与控制系统电性连接； 若干个所述滑动板131的中部均设置有调节罩161，所述调节罩161位于相邻两组检测球15之间，所述调节罩161内部中空，所述推动板16滑动安装于调节罩161内，所述推动板16一端穿出调节罩161，所述推动板16另一端与调节罩161之间连接有第二弹簧； 所述推动板16和调节罩161之间设置有导热介质，所述推动板16和调节罩161上均设置有金属材质，推动板16和调节罩161上的所述金属材质与控制系统电性连接，推动板16和调节罩161上的所述金属材质均与导热介质接触，所述导热介质为受热膨胀材料。

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