上海源创同章表面涂层科技有限公司谭卓鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海源创同章表面涂层科技有限公司申请的专利一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120758845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510939528.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极是由谭卓鹏;唐德礼;殷磊;王丁;刘旋;谢文明设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极在说明书摘要公布了：本发明属于离子镀膜技术领域，具体涉及一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极，包括条形靶材、背板、内磁钢和外磁钢，其中：条形靶材固定于背板上，外磁钢设置于背板背对条形靶材的一侧，包含至少一个N‑S磁极对；内磁钢完全嵌入在背板内，每个内磁钢对应设置于N‑S磁极对的N极外磁钢与S极外磁钢之间；每个N‑S磁极对在条形靶材表面产生第一平行磁场B1，位于该N‑S磁极对之间的内磁钢在条形靶材表面产生与所述第一平行磁场B1方向相反的第二平行磁场B2，且B1＞B2。本发明在背板内嵌入特定磁场设计的内磁钢，通过嵌入内磁钢达到刻蚀面平行磁场随刻蚀深度增加而降低的效果，从而均匀刻蚀靶材，提高靶材利用率。
本发明授权一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极在权利要求书中公布了：1.一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极，其特征在于，包括条形靶材、背板、内磁钢和外磁钢，其中： 条形靶材固定于背板上， 外磁钢设置于背板背对条形靶材的一侧，包含至少一个N-S磁极对； 内磁钢完全嵌入在背板内，每个内磁钢对应设置于N-S磁极对的N极外磁钢与S极外磁钢之间； 每个表面磁场强度为B外的N-S磁极对在条形靶材表面产生第一平行磁场B1，位于该N-S磁极对之间的表面磁场强度为B内的内磁钢在条形靶材表面产生与所述第一平行磁场B1方向相反的第二平行磁场B2，且B1＞B2； B外取值范围为3500-4500Gs，B内取值范围为500-1500Gs； 所述内磁钢嵌入在贴近条形靶材的背板内； 所述内磁钢中轴线与对应的N-S磁极对的中轴线重合。
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