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龙图腾网获悉青岛方旭科技发展有限公司申请的专利一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809634B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510900329.1，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置是由肖迪;李文峰;孙士龙;罗洁设计研发完成，并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体衬底输送装置技术领域，具体地说，涉及一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其包括主体机构，主体机构包括机架，机架的外表面传动连接有输送链板，机架的内壁固定安装有两个防护板，机架的上方设置有链板清理机构；链板清理机构包括链板清洗单元，链板清理机构还包括清洗废水回收单元，能够利用链板清洗单元实现对输送链板内圈和外圈进行清洗的目的，通过单头喷头和双头喷头，双头喷头能够进行伸缩，调节与输送链板的距离，而单头喷头能够利用双轴独立电机进行旋转，在此基础上，单头喷头和双头喷头都能进行左右方向的移动,起到全面清洗输送链板内外圈的作用，进一步由喷洒液体配合清洗辊。

本发明授权一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置在权利要求书中公布了：1.一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其包括主体机构1，其特征在于：所述主体机构1包括机架11，所述机架11的外表面传动连接有输送链板12，所述机架11的内壁固定安装有两个防护板13，所述机架11的上方设置有链板清理机构2； 所述链板清理机构2包括链板清洗单元21，所述链板清理机构2还包括清洗废水回收单元22，所述链板清洗单元21包括支撑架2101，所述支撑架2101的背面与机架11的正面固定连接，所述支撑架2101的左侧面固定安装有驱动电机2103，所述驱动电机2103的输出端固定安装有丝杠2102，所述丝杠2102的外表面与支撑架2101的内壁转动连接，所述丝杠2102的外表面螺纹连接有配套螺母2109，所述配套螺母2109的外表面固定安装有移动块2104，所述移动块2104的外表面与支撑架2101的内壁相接触，所述移动块2104的上表面和底面均固定安装有安装外壳2106； 所述移动块2104的正面固定安装有小型水泵2110，所述小型水泵2110的输入管固定连通有进水软管2105，所述小型水泵2110的输出管固定连通有回形管2107，所述回形管2107固定安装在安装外壳2106内壁，所述回形管2107的内部固定连通有若干个相同的回收管2122，每个所述回收管2122的内部均滑动连通有伸缩管2121，每个所述伸缩管2121的内部均固定连通有双头喷头2123，所述双头喷头2123位于输送链板12外圈，且所述双头喷头2123从输送链板12上方和输送链板12下方对其进行清洗； 所述回形管2107围成的回形区域内部固定连通有弯管2108，所述弯管2108的内部一端固定连通有L形管2117，所述L形管2117的内壁一端转动连接有旋转管2116，所述旋转管2116的内部固定连通有若干个相同的单头喷头2124，所述单头喷头2124位于输送链板12内圈，且所述单头喷头2124对输送链板12内圈上下侧进行清洗，所述旋转管2116的后端固定安装有双轴独立电机2113，所述旋转管2116的下方设置有两个清洗辊2115，且输送链板12位于清洗辊2115之间，每个所述清洗辊2115的一端均固定安装有连接轴2114，其中一个所述连接轴2114的外表面和双轴独立电机2113的输出端均固定安装有单槽带轮2128，另外一个所述连接轴2114的外表面固定安装有双槽带轮2127，每个所述单槽带轮2128的外表面均传动连接有同步带2126，每个所述同步带2126的内圈均与双槽带轮2127的外表面传动连接，两个所述连接轴2114的外表面共同转动连接有轴座滑板2112，所述机架11的背面开设有移动口2111，所述轴座滑板2112的外表面与移动口2111的内部滑动连接。

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