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江西兆驰半导体有限公司杨起获国家专利权

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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121054500B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511588818.4,技术领域涉及:H10W72/20;该发明授权一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片是由杨起;周校冉;张存磊;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2025-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片,涉及半导体技术领域,所述方法包括:建立抛平过程中凸点剖面轮廓的抛物线模型;依据抛物线模型得到凸点穹顶高度h与凸点底面跨度d的关系;得到凸点底面跨度d的范围,并作为焊盘尺寸范围I;依据芯片推力关系,计算得到焊盘尺寸范围II;综合焊盘尺寸范围I和焊盘尺寸范围II得到焊盘的最终尺寸范围;依据最终尺寸范围确定焊盘尺寸;依据焊盘尺寸制备UBM结构晶圆;在UBM结构晶圆上制作焊点;依据抛物线模型对焊点进行逐层抛平。采用本发明,可避免抛平过程中锡球变形和出货前的Bump抛平巨量转移,抛平后凸块表面平整,使焊料均匀铺展,减少焊接空洞率,显著提升热导性和机械强度,利于后续封装加工。

本发明授权一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片在权利要求书中公布了:1.一种Bump芯片抛平方法,其特征在于,包括步骤: 依据Bump芯片的凸点的穹顶结构,建立抛平过程中凸点剖面轮廓的抛物线模型,所述抛物线模型以凸点底面中心为原点,凸点穹顶为顶点,以凸点底面直径所在直线为X轴,以凸点高度所在的直线为Y轴,所述抛物线模型公式为,其中,d为凸点底面跨度,h为凸点穹顶高度;y的约束条件为:y∈[H,h,其中,H为最终抛平高度;x的约束条件为:x∈[-d2,d2],且x∈[D,+∞,其中,D值为满足最小蓝膜粘附力的凸点底面半径值; 依据所述抛物线模型得到凸点穹顶高度h与凸点底面跨度d的关系; 依据所述凸点穹顶高度h与凸点底面跨度d的关系得到凸点底面跨度d的范围,并将所述凸点底面跨度d的范围作为焊盘尺寸范围I; 依据芯片推力关系,计算得到焊盘尺寸范围II; 综合所述焊盘尺寸范围I和焊盘尺寸范围II得到焊盘的最终尺寸范围; 依据得到的焊盘的最终尺寸范围确定焊盘尺寸; 依据所述焊盘尺寸制备UBM结构晶圆; 在所述UBM结构晶圆上制作焊点; 依据所述抛物线模型对所述焊点进行逐层抛平。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西兆驰半导体有限公司,其通讯地址为:330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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