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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121090560B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511640112.8，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质是由阿民;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质。其中，该晶圆缺陷检测方法包括：获取反射面高度与采集模块高度关系；其中，反射面高度与采集模块高度关系为待测晶圆的高度坐标与反射光照射至反射光信号采集模块的高度坐标之间的关系；输出预扫描信号至运动模块并接收预扫描坐标信息；根据预扫描坐标信息和反射面高度与采集模块高度关系确定精扫描坐标信息；根据精扫描坐标信息调整运动模块的运动路径并根据获取的散射光生成晶圆缺陷信息。本发明的技术方案，避免了当待测晶圆处于非平整状态时，对晶圆缺陷检测尺寸以及定位不准的问题，提高了晶圆缺陷检测的准确性。

本发明授权一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测方法，其特征在于，应用在晶圆检测装置中；所述晶圆检测装置包括：光学模块、运动模块、散射光信号采集模块、反射光信号采集模块和控制模块； 所述光学模块用于出射探测光至待测晶圆；所述运动模块用于承载所述待测晶圆并带动所述待测晶圆运动；所述散射光信号采集模块用于接收所述待测晶圆的散射光；所述反射光信号采集模块用于接收所述待测晶圆的反射光；所述运动模块包括垂直运动电机和高度校准柱； 所述控制模块分别与所述运动模块、所述散射光信号采集模块和所述反射光信号采集模块通信连接； 所述晶圆缺陷检测方法包括： 获取反射面高度与采集模块高度关系；其中，所述反射面高度与采集模块高度关系为所述待测晶圆的高度坐标与所述反射光照射至所述反射光信号采集模块的高度坐标之间的关系； 输出预扫描信号至所述运动模块并接收预扫描坐标信息； 根据所述预扫描坐标信息和所述反射面高度与采集模块高度关系确定精扫描坐标信息； 根据所述精扫描坐标信息调整所述运动模块的运动路径并根据获取的所述散射光生成晶圆缺陷信息； 获取反射面高度与采集模块高度关系，包括： 获取参考原点坐标；其中，所述参考原点坐标为所述高度校准柱的反射面位于所述散射光信号采集模块的焦平面时所述反射光照射至所述反射光信号采集模块的高度坐标； 控制所述垂直运动电机移动以带动所述高度校准柱移动并获取所述高度校准柱的移动距离dy和校准高度坐标z；其中，所述校准高度坐标z为所述移动距离dy对应的所述反射光照射至所述反射光信号采集模块的高度坐标； 根据所述参考原点坐标、所述移动距离dy和所述校准高度坐标z确定反射面高度与采集模块高度关系； 所述反射面高度与所述采集模块高度关系为； 其中，y为所述反射面的高度；a为常数。

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