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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利声表面波装置修频方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121150639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511627523.3，技术领域涉及：H03H3/10；该发明授权声表面波装置修频方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本声表面波装置修频方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种声表面波装置修频方法，该修频方法包括步骤：提供多个假片和第一声表面波装置样品；对第一假片进行匀速刻蚀预设时间，并获取第一假片各处位置的刻蚀速率；对第二假片设定第一预设刻蚀厚度，并对所述第二假片进行刻蚀，测量获取实际刻蚀厚度，并得到比例系数；判断所述比例系数是否在预设比例系数偏差范围内：若是，则对所述第一声表面波装置样品进行修频，并测量获取频率变化量；建立所述频率变化量与所述实际刻蚀厚度之间对应的第一变化关系；根据所述第一变化关系对同一批次的声表面波装置进行第一次修频。本发明的修频方法可以提升声表面波装置的修频准确性以及生产合格率。

本发明授权声表面波装置修频方法在权利要求书中公布了：1.一种声表面波装置修频方法，其特征在于，所述声表面波装置修频方法包括以下步骤： 提供多个假片和依次沉积了温度补偿层以及修频层的第一声表面波装置样品；其中，所述假片包括衬底以及依次沉积于所述衬底的温度补偿层和修频层，所述假片的温度补偿层的厚度和工艺与所述第一声表面波装置样品的温度补偿层的厚度和工艺相同，所述假片的修频层的厚度和工艺与所述第一声表面波装置样品的修频层的厚度和工艺相同； 对第一假片进行匀速刻蚀并持续预设时间，根据第一假片刻蚀前各处位置的厚度以及第一假片刻蚀后对应刻蚀前的各处位置的厚度，获取第一假片各处位置的刻蚀速率； 对第二假片的至少一处目标位置设定需要刻蚀的第一预设刻蚀厚度，并根据第二假片的所述目标位置对应所述第一假片的相同位置处的所述刻蚀速率对所述第二假片进行所述第一预设刻蚀厚度的刻蚀，测量获取刻蚀后的第二假片的实际刻蚀厚度，再拟合所述第一预设刻蚀厚度与所述实际刻蚀厚度的对应比例关系，得到比例系数； 判断所述比例系数是否在预设比例系数偏差范围内： 若是，则按所述刻蚀速率和所述比例系数对所述第一声表面波装置样品进行修频，并测量获取所述第一声表面波装置样品修频后的频率变化量； 建立所述频率变化量与所述实际刻蚀厚度之间对应的第一变化关系； 根据所述第一变化关系，对与所述第一声表面波装置样品为同一批次的声表面波装置进行第一次修频。

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