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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利多模态晶圆缺陷检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121186209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511726272.4，技术领域涉及：G01N29/07；该发明授权多模态晶圆缺陷检测系统是由崔维设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本多模态晶圆缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及图像检测技术领域，提供了多模态晶圆缺陷检测系统。该系统包括导波采集模块、应力重构模块、裂纹建库模块、类型识别模块、多模态数据融合模块，通过导波传播参数提取裂痕区域的应力分布信息，结合温度对传播速度的修正，实现对多层结构中裂痕的深度定位与空间标定，利用标准化压痕生成的波速特征构建裂纹数据库，使传播特征与裂纹类型之间建立明确映射关系，从而提升裂纹性质判定的准确性，通过将裂痕识别结果与光学干涉图样中的条纹异常区域进行空间配准，可有效覆盖图像检测中存在的识别盲区，进而融合导波检测与光学检测结果，增强缺陷覆盖范围与识别完整性。

本发明授权多模态晶圆缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.多模态晶圆缺陷检测系统，其特征在于，包括： 导波采集模块，通过施加激励信号控制多组正交极化换能器同步发射导波信号，在多层晶圆结构中传播并被界面散射反射，提取反射信号特征； 应力重构模块，根据所述反射信号特征计算导波信号在晶圆结构中的传播速度，采集晶圆表面温度分布数据，判断温度对传播速度的影响并修正传播速度参数，重构晶圆内部每个位置的应力分布，定位潜在裂痕区域； 裂纹建库模块，通过在预设样本晶圆的表面区域施加多组恒定压入力形成压痕，计算每种压痕类型下的横纵波速率，依据弹性模量与泊松比函数关系建立压痕物理类型与波速率之间的映射关系，构建裂纹特征数据库； 类型识别模块，将所述潜在裂痕区域与所述裂纹特征数据库比对，选定对应裂纹类型标签，生成裂纹识别结果； 多模态数据融合模块，将所述裂纹识别结果与对应光学干涉检测图样进行叠合判断，筛查未被超声识别但图样中存在裂纹的盲区，得到多模态缺陷检测结果； 所述裂纹建库模块包括： 压痕加载子模块，在预设样本晶圆的表面区域施加多组恒定压入力形成多类型压痕，采集压痕在实验晶圆结构中的所述反射信号特征和对应导波信号在实验晶圆结构的基准传播速度，生成裂纹样本传播速度集； 波速比构建子模块，根据所述裂纹样本传播速度集中每类压痕的基准传播速度，划分基准传播速度区间； 映射建立子模块，依据弹性模量与泊松比函数关系，将所述基准传播速度区间与对应压痕的物理类型建立匹配特征，构建裂纹特征数据库； 所述匹配特征包括弹性模量对应响应参数、泊松比对应响应参数、压痕物理类型标签。

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