江西科技师范大学蒋丹凤获国家专利权
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龙图腾网获悉江西科技师范大学申请的专利一种基于洁净空调的三维流场仿真方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121189236B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511714353.2,技术领域涉及:G06F30/28;该发明授权一种基于洁净空调的三维流场仿真方法及系统是由蒋丹凤;付妍熙;付妍煜设计研发完成,并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于洁净空调的三维流场仿真方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于洁净空调的三维流场仿真方法及系统,通过构建电子厂房的网格历史数据库;根据网格历史数据库,训练AI预判模型,AI预判模型基于随机森林算法叠加空间注意力机制;获取电子厂房的动态场景特征,并将动态场景特征输入训练好的AI预判模型中,输出高风险区坐标和分区网格参数;随后生成宏观层、中观层以及微观层三层多尺度网格,采用重叠网格技术耦合并传递数据,得到网格;对网格进行独立性验证,输出最终网格文件,具体的,通过AI学习与多尺度技术,实现按需分配网格资源,既解决传统网格过密浪费算力、过疏精度不足的矛盾,又能捕捉微观气流与宏观气流的关联。
本发明授权一种基于洁净空调的三维流场仿真方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于洁净空调的三维流场仿真方法,其特征在于,所述方法包括: 构建电子厂房的网格历史数据库,所述网格历史数据库包含光刻机车间、晶圆封装车间、FFU密集区三类场景的场景特征、网格方案以及误差反馈; 根据所述网格历史数据库,训练AI预判模型,所述AI预判模型基于随机森林算法叠加空间注意力机制; 获取电子厂房的动态场景特征,并将所述动态场景特征输入训练好的AI预判模型中,输出高风险区坐标和分区网格参数; 根据所述高风险区坐标、所述分区网格参数以及精度需求,生成宏观层、中观层以及微观层三层多尺度网格,采用重叠网格技术耦合并传递数据,得到网格,所述微观层覆盖光刻机工作台面、HEPA纤维间隙、晶圆表面; 对所述网格进行独立性验证,输出最终网格文件; 所述宏观层为整个洁净车间,采用ANSYSMeshing生成网格; 所述中观层为光刻机周边10m和FFU阵列区,采用ICEMCFD生成网格; 所述微观层为光刻机工作台0.1-0.5m和HEPA纤维间隙,采用Palabos+LAMMPS生成网格。
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