买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海芯无双仿真科技有限公司申请的专利基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121189266B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511724816.3，技术领域涉及：G06F30/392；该发明授权基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法是由任谦;王昳;赵伟;修磊;陈强;方大千;潘继宏设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法在说明书摘要公布了：本发明提供基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法，涉及光刻技术领域，包括处理系统，处理系统中包含有控制模块、Metro模块、模型仿真模块、Retarget模块、PatternMatch模块和PWA模块，控制模块为控制主体执行以下控制流程：初始化系统，加载芯片版图数据；向Metro模块发送测量点确定指令；接收Metro模块的测量结果数据，传输至模型仿真模块；触发模型仿真模块生成仿真测量结果；将测量结果数据和仿真测量结果传输至PWA模块；接收PWA模块的公共工艺窗口数据和hotspot点数据；若公共工艺窗口满足预设阈值，终止流程，Retarget模块采用CycleGAN生成修正图形数据，PatternMatch模块通过卷积神经网络搜索近似图形，有效扩大公共工艺窗口。

本发明授权基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法在权利要求书中公布了：1.一种由处理系统实现的基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法，其特征在于：所述处理系统中包含有控制模块、Metro模块、模型仿真模块、Retarget模块、PatternMatch模块和PWA模块； 所述控制模块为控制主体执行以下控制流程：初始化系统，加载芯片版图数据；向Metro模块发送测量点确定指令；接收Metro模块的测量结果数据，传输至模型仿真模块；触发模型仿真模块生成仿真测量结果；将测量结果数据和仿真测量结果传输至PWA模块；接收PWA模块的公共工艺窗口数据和hotspot点数据；若公共工艺窗口满足预设阈值，终止流程；否则触发Retarget模块和PatternMatch模块，更新版图数据，迭代分析至满足阈值； 所述Metro模块生成测量结果数据，传输至控制模块；模型仿真模块生成仿真测量结果，传输至控制模块；PWA模块包含PW子模块生成工艺窗口数据、CPW子模块生成公共工艺窗口数据、PWHotspot子模块生成hotspot点数据，传输至控制模块；Retarget模块生成修正图形数据，PatternMatch模块生成近似图形数据，传输至控制模块； 所述处理系统的发现方法包括以下步骤： S1：在芯片版图上确定多个测量点，每个测量点对应典型图形的关键宽度； S2：确定工艺参数组合，包括光照剂量和聚焦位置； S3：生成每组工艺参数下各测量点的测量结果数据和仿真测量结果，融合测量结果数据和仿真测量结果； S4：基于融合数据生成每个测量点的工艺窗口； S5：基于所有测量点的工艺窗口生成公共工艺窗口； S6：判断公共工艺窗口是否满足预设阈值；若满足，终止流程；若不满足，执行步骤S7； S7：分析对公共工艺窗口影响最大的测量点，生成hotspot点数据； S8：基于hotspot点数据生成修正图形数据，基于修正图形数据搜索近似图形，生成近似图形数据，更新芯片版图数据； S9：其中S7和S8步骤是以PWA模块的PWHotspot子模块使用深度强化学习网络，系统分析对公共工艺窗口影响最大的hotspot点，Retarget模块采用CycleGAN生成修正图形数据，PatternMatch模块通过卷积神经网络搜索近似图形，PWA模块的PW子模块通过Transformer网络生成工艺窗口数据，CPW子模块利用马尔可夫逻辑网络生成公共工艺窗口数据来实现的；基于更新后的版图数据重新计算工艺窗口，重复步骤S5至S8，直至公共工艺窗口满足预设阈值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯无双仿真科技有限公司，其通讯地址为：200000 上海市闵行区剑川路951号5幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。