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龙图腾网获悉清河电子科技(山东)有限责任公司申请的专利一种FCCSP/FCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121210389B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511746298.5，技术领域涉及：G06F15/78；该发明授权一种FCCSP/FCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法是由邵利强;王猛;刘正艺设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种FCCSP/FCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，具体提供一种FCCSPFCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法，该方法首先通过部署于各工艺设备的边缘计算单元采集数据并封装为标准化的工艺事件消息，经由工艺事件消息总线进行路由；中央处理系统订阅总线消息，为每一片载板动态构建单元级时空关联图谱，完整记录其生产路径与数据；当出现质量异常时，基于该载板的时空关联图谱，利用因果推断模型进行实时分析，定位跨设备工艺异常因果链。根据分析结果，若识别出源设备存在系统性参数漂移，则生成协同工艺参数调整指令，并通过总线下发至对应边缘计算单元执行设备级参数补偿。本发明通过协同数据处理，提升载板生产的质量与效率。

本发明授权一种FCCSP/FCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法在权利要求书中公布了：1.一种FCCSPFCBGA芯片载板生产多设备数据协同数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤： 通过部署在生产线各目标工艺设备处的边缘计算单元，执行本地的工艺数据采集、实时特征提取，并封装生成标准化的工艺事件消息； 构建一工艺事件消息总线，用于接收并路由由各边缘计算单元发布的工艺事件消息； 中央处理系统订阅工艺事件消息总线，并针对每一片载板的唯一标识，依据其工艺事件消息流，动态构建并更新单元级时空关联图谱；该图谱以载板单元为根节点，以其流经的工艺设备及其工艺事件为过程节点，并依据工艺顺序构建节点间的有向边，从而形成载板的生产路径拓扑； 基于出现质量异常的载板单元所对应的单元级时空关联图谱，通过因果推断模型进行实时分析，以定位影响最终产品质量的跨设备工艺异常因果链，包括：因果推断模型进行推理，输出至少一个位于前道工序的工艺设备及其异常工艺特征，形成跨设备工艺异常因果链； 根据因果链的分析结果，当识别出源设备存在相应参数漂移时，则生成针对该源设备的协同工艺参数调整指令； 将调整指令经由工艺时间消息总线下发至该源设备所对应的边缘计算单元，由该边缘计算单元执行设备级的参数补偿； 其中，因果推断模型进行推理，输出至少一个位于前道工序的工艺设备及其异常工艺特征，形成跨设备工艺异常因果链，具体包括： 因果推断模型将全过程工艺数据特征序列作为输入，其中，为样本数量，为特征总数，目标为学习一个加权邻接矩阵，该矩阵定义了特征间的因果图结构； 通过求解以下优化问题来推断所述加权邻接矩阵： 其中，为衡量图结构对数据拟合程度的损失函数，定义为： 式中，表示矩阵的Frobenius范数； 为L1范数正则化项，用于促进因果图的稀疏性，为其系数； 为有向无环图约束函数，采用如下形式： 式中，表示矩阵的迹，为单位矩阵，表示矩阵的Hadamard积，为缩放因子，为约束权重系数； 求解得到最优邻接矩阵后，从矩阵中提取所有满足的特征，其中为预设的显著性阈值；表示矩阵中第行、第列的元素，其数值大小表征了工艺特征对最终质量缺陷的因果影响强度； 针对每一个符合条件的特征，根据其特征标识溯源至对应的前道工序工艺设备及其异常工艺特征，形成从根因到最终缺陷的跨设备工艺异常因果链。

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