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龙图腾网获悉芯火微测(成都)科技有限公司申请的专利一种芯片检测扫描电镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121331725B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511892073.0，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权一种芯片检测扫描电镜是由林爽;何其松;邹悦;吴彦设计研发完成，并于2025-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片检测扫描电镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片检测扫描电镜，包括壳体，壳体内沿竖向设置有扫描电子显微镜装置、样品台，壳体内还倾斜设置有聚焦离子束装置，样品台包括底座以及可摆动地设置在底座上的第一平台，底座上设置有用于驱动第一平台发生偏转的偏转装置，底座上设置有连接座，连接座上可摆动地设置有第二平台，第二平台位于第一平台的上方；连接座上还设置有驱动机构。与现有技术相比，本发明的芯片检测扫描电镜利用了设备原有样品台即第一平台的偏转实现对第二平台的偏转驱动，通过第一平台的多次偏转可实现第二平台更大幅度的偏转，使得芯片检测使用场景得到拓展，例如可实现对芯片更大角度的检测观察。

本发明授权一种芯片检测扫描电镜在权利要求书中公布了：1.一种芯片检测扫描电镜，包括壳体1，所述壳体1内沿竖向设置有扫描电子显微镜装置2、样品台3，所述壳体1内还倾斜设置有聚焦离子束装置4，所述样品台3包括底座5以及可摆动地设置在所述底座5上的第一平台6，所述底座5上设置有用于驱动所述第一平台6发生偏转的偏转装置，其特征是：所述底座5上设置有连接座7，所述连接座7上可摆动地设置有第二平台8，所述第二平台8位于所述第一平台6的上方； 所述连接座7上还设置有驱动机构9，所述驱动机构9包括耦合于所述第一平台6的传动单元10以及耦合于所述第二平台8的致动单元11，所述传动单元10适配为能够接收所述第一平台6偏转动作时所产生的推力，并传动至所述致动单元11，以驱使所述致动单元11致动所述第二平台8发生偏转； 所述致动单元11包括枢接在所述连接座7上的摆臂14，所述摆臂14包括相对设置的第一支臂15、第二支臂16，所述传动单元10包括设置在所述摆臂14上的传动杆17，所述传动杆17朝向所述第一平台6延伸布置，且所述传动杆17偏离所述第一平台6的轴心； 所述第二平台8的转轴上连接有扭簧18，所述第二平台8的转轴上还设置有棘轮19，所述第一支臂15、第二支臂16分别位于所述棘轮19的两侧； 其中，所述摆臂14上连接有复位弹簧20，所述复位弹簧20用于驱使所述第一支臂15的端部扣合于所述棘轮19； 当所述第一平台6发生偏转时，所述第一平台6推动所述传动杆17，以驱使所述第一支臂15的端部脱离所述棘轮19，同时所述第二支臂16的端部进入扣合位置；或， 所述传动单元10包括倾斜布置在所述连接座7上的驱动杆21，且所述驱动杆21滑动适配于所述连接座7，所述驱动杆21包括滑动座22以及沿侧向可弹动地连接在所述滑动座22上的驱动条23，所述驱动条23的侧壁上设置有棘齿结构24； 所述致动单元11包括设置在所述第二平台8的转轴上的棘轮19； 当所述第一平台6发生偏转时，所述第一平台6推动所述驱动杆21发生滑动，以驱使所述棘齿结构24啮合于所述棘轮19并推动所述第二平台8发生偏转； 所述驱动杆21上连接有复位弹簧20，所述复位弹簧20用于推动所述驱动杆21回复至初始位置，期间所述棘轮19推动所述棘齿结构24并使得所述驱动条23发生弹动；或， 所述传动单元10包括活塞杆26，且所述活塞杆26偏离所述第一平台6的轴心； 所述致动单元11包括开设在所述连接座7内的腔室27，所述第二平台8的转轴上构造有滑动柱28，所述滑动柱28滑动适配在所述腔室27内； 所述腔室27与所述活塞杆26的内腔通过管路相连通，所述管路中设置有单向阀，所述单向阀适配为仅允许流体向所述腔室27一侧流通； 所述连接座7上还设置有储液囊29，所述储液囊29与所述活塞杆26的内腔管路连通； 当所述第一平台6发生偏转时，所述第一平台6推动所述活塞杆26的柱塞30，以驱使流体充入所述腔室27。

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