佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司黄裕翔获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请的专利一种电子束和离子束协同的表面修型方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121355162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511908639.4，技术领域涉及：H01J37/305；该发明授权一种电子束和离子束协同的表面修型方法是由黄裕翔;冀鸣;刘伟基设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束和离子束协同的表面修型方法在说明书摘要公布了：本申请涉及高精度表面处理技术领域，具体涉及了一种电子束和离子束协同的表面修型方法，包括：定位基底上附着的目标颗粒；利用电子束对目标颗粒及其附着面进行同步充能，用于使两者之间产生同性斥力；离子束通过与基底的法线呈60°～80°的入射角照射已充能的目标颗粒，用于定向移除目标颗粒。本申请通过在离子束抛光过程中通过低能照射的电子束和离子束的协同作用实现对基底附着的目标颗粒的定向去除，以实现材料原子级修型中污染物的完全去除，提高原子级高精密表面修型的加工良率，以避免目标颗粒残留导致的高精密系统失效问题。
本发明授权一种电子束和离子束协同的表面修型方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束和离子束协同的表面修型方法，其特征在于，包括： 定位基底上附着的目标颗粒； 利用电子束对所述目标颗粒及其附着面进行同步充能，用于使两者之间产生同性斥力； 离子束通过与所述基底的法线呈60°～80°的入射角照射已充能的所述目标颗粒，用于定向移除所述目标颗粒； 在定位基底上附着的目标颗粒之前或在移除所述目标颗粒之后，执行离子束抛光操作； 利用电子束对所述目标颗粒及其附着面进行同步充能包括： 通过一个及以上的方向的所述电子束照射所述目标颗粒与附着面之间的界面； 或，通过所述电子束垂直照射且完全覆盖所述目标颗粒； 所述目标颗粒为亚微米粒子； 所述离子束用于吹扫所述目标颗粒，降低对所述附着面的轰击力度； 所述离子束在照射过程中同步进行真空抽排。
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