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龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种多功能晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121358256B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511925057.7，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种多功能晶圆检测设备是由史庆飞;许志彬设计研发完成，并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多功能晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多功能晶圆检测设备，该设备包括边缘检测模组、机器人、两套并行设置的宏观检测单元以及微观检组件。机器人设于边缘检测模组侧方以转移晶圆。每套宏观检测单元均包含中转机构、旋转转移晶圆机构、外部夹持机构、内部夹持机构和拍照模组。其中，中转机构用于接收来自机器人的晶圆；旋转转移晶圆机构工作范围覆盖中转机构、外部夹持机构和内部夹持机构及微观检组件，负责在其间高效转移晶圆；相邻设置的外部夹持机构与内部夹持机构可进行晶圆交接；拍照模组则对由内部夹持机构固定的晶圆进行拍摄。本发明通过优化布局与自动化流转，实现了晶圆边缘检测、宏观检测与微观检测的高效集成与连续进行，显著提升了检测效率和自动化水平。

本发明授权一种多功能晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种多功能晶圆检测设备，其特征在于，包括： 边缘检测模组，用于对晶圆进行边缘检测；机器人，设置于边缘检测模组的侧方，用于转移晶圆； 两套宏观检测单元，每套宏观检测单元均包括一中转机构、一旋转转移晶圆机构、一外部夹持机构、一内部夹持机构和一拍照模组；两套宏观检测单元并行设置； 微观检组件，设置于宏观检测单元的侧方，用于对晶圆进行微观检测； 其中，中转机构位于机器人的工作范围内，用于接收由机器人从边缘检测模组转移来的晶圆；旋转转移晶圆机构的工作范围覆盖中转机构、外部夹持机构、内部夹持机构和微观检组件，用于在它们之间转移晶圆；外部夹持机构和内部夹持机构相邻设置，且外部夹持机构能够将晶圆传递至内部夹持机构；拍照模组的取像区域对准被内部夹持机构所夹持的晶圆表面； 所述旋转转移晶圆机构包括固定座、Z轴移动模组三、转接板三、旋转电机三、转动杆和夹持吸盘；Z轴移动模组三设置于固定座上；转接板三与Z轴移动模组三的输出端连接，以由Z轴移动模组三驱动而沿竖直方向移动；旋转电机三安装于转接板三上，其输出轴与转动杆连接； 所述内部夹持机构包括： 固定支架，刚性安装在设备主基板上； Z轴移动模组二，竖直固定安装在固定支架上； 转接板二，与Z轴移动模组二的输出端固定连接； 偏转电机，固定于转接板二上，其输出轴通过同步带驱动翻转轴转动； 齿轮电机安装板和支架，分别固定连接在翻转轴的两端； 齿轮驱动电机，安装在齿轮电机安装板上，其输出轴的齿轮与齿条啮合； 连杆轴，设置为L形，其一端设有齿条，并穿过翻转轴的中空通孔，由齿轮驱动而沿轴向移动； 转动轴，其中部可转动地连接于支架的末端； 连杆，其两端分别与连杆轴的另一端以及转动轴的底部铰接； 旋转电机二，固定安装在转动轴的顶部；以及 吸盘一，与旋转电机二的输出轴连接，用于吸附晶圆； 其中，Z轴移动模组二驱动吸盘一进行Z向升降运动，偏转电机驱动吸盘一进行偏转运动，齿轮驱动电机通过齿轮、齿条、连杆轴和连杆驱动转动轴摆动，进而使吸盘一进行俯仰运动，旋转电机二驱动吸盘一进行旋转运动。

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