唯实先端智能科技(苏州)有限公司刘明获国家专利权
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龙图腾网获悉唯实先端智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121374884B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511955226.1,技术领域涉及:B28D7/04;该发明授权一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置是由刘明;林毅伟;李丽丽设计研发完成,并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置,涉及半导体晶锭加工设备技术领域,其包括机架,机架两侧设有第一直线导轨和第二直线导轨,第一直线导轨和第二直线导轨上滑动设置有第一平台,第一平台上设有第一驱动件,第一平台上转动设置有第二平台,第二平台与第一平台之间设有减震机构,第一平台上还设有第二驱动件,第二平台上设有固定机构和托架,托架设置在第二平台中间,固定机构包括夹紧组件和锁止组件,第一平台靠近第二平台转动处设有激光位移传感器和三个第一接近开关,托架中间设有第二接近开关。本申请具有定位精度提升和降低晶锭损伤率的效果。
本发明授权一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置在权利要求书中公布了:1.一种基于半导体晶锭旋转自动化定位装置,包括机架1,所述机架1两侧沿竖直方向平行设有第一直线导轨11和第二直线导轨12,所述第一直线导轨11和第二直线导轨12上滑动设置有第一平台2,所述第一平台2上设有驱动第一平台2在第一直线导轨11和第二直线导轨12上滑动的第一驱动件,所述第一平台2上转动设置有第二平台3,所述第一平台2上还设有驱动第二平台3转动的第二驱动件,其特征在于:所述第二平台3与第二驱动件之间设有减震机构,所述减震机构包括环形减震垫和均匀分布的减震弹簧,所述环形减震垫套设在第二驱动件的输出轴外侧,所述减震弹簧设置在第二平台3底部的边缘位置,所述第二平台3上设有用于固定晶锭底托41的固定机构31和用于放置晶锭底托41的托架32,所述托架32设置在第二平台3中间,所述固定机构31包括夹紧组件和锁止组件,所述夹紧组件包括滑动设置在第二平台3上的第一支撑部341和第二支撑部342,所述第二平台3上还设有分别驱动第一支撑部341和第二支撑部342的第一气缸351和第二气缸352,所述锁止组件包括设置在第二平台3底部的第三气缸353和第四气缸354,所述第三气缸353和第四气缸354竖直向上布置,所述第三气缸353和第四气缸354的活塞杆355头部都设有第一斜切面356,所述第一支撑部341和第二支撑部342位于第二平台3顶部部分设有方孔357,便于第三气缸353和第四气缸354的活塞杆355升起进入相应的方孔357从而锁止第一支撑部341和第二支撑部342,所述晶锭底托41下部设有第二斜切面411,所述第一支撑部341和第二支撑部342面向托架32处都设有与第二斜切面411平行的支撑部斜面,所述支撑部斜面上设有弹性缓冲层,所述第一平台2靠近第二平台3转动处设有激光位移传感器5和三个第一接近开关61,所述第二平台3上设有与三个第一接近开关61配合的L型支架用于实现角度定位,所述托架32中间设有第二接近开关62,所述机架1上还设有控制器,所述控制器分别电连接第一接近开关61、激光位移传感器5、第二接近开关62、第一驱动件和第二驱动件,所述激光位移传感器5用于实时检测晶锭径向跳动并反馈给控制器调整驱动件。
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