聚变新能(安徽)有限公司;中国科学院合肥物质科学研究院杨庆喜获国家专利权
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龙图腾网获悉聚变新能(安徽)有限公司;中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121384346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511967002.2,技术领域涉及:G01M3/20;该发明授权低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法是由杨庆喜;王君;曹归;徐皓设计研发完成,并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法在说明书摘要公布了:本发明涉及低温泵检漏领域,并公开了一种低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法,低温泵氦质谱检漏装置包括:检漏舱、抽真空组件、氦气检测组件、第一真空度检测件、低温泵泵体检测组件、氦气充入组件、氦气浓度检测件、第一校准组件和第二校准组件,抽真空组件包括第一管路、第一阀、第二阀、第一抽真空泵和第二抽真空泵;氦气检测组件包括第二管路、第三阀和氦质谱检漏仪;低温泵泵体检测组件包括第三管路、第二真空度检测件、第四管路和第四阀;氦气充入组件包括第五管路、氦气储存件和第五阀。本发明的低温泵氦质谱检漏装置可以在一次操作中同时完成对制冷机和低温泵泵体进行检漏,提高检漏效率。
本发明授权低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法在权利要求书中公布了:1.一种低温泵氦质谱检漏装置,其特征在于,包括: 检漏舱,用于放置待检测的低温泵; 抽真空组件,所述抽真空组件包括第一管路、第一阀、第二阀、第一抽真空泵和第二抽真空泵,所述第一管路的一端连通所述检漏舱,另一端连接所述第一抽真空泵,在所述第一管路自所述检漏舱延伸至所述第一抽真空泵的方向上,所述第一阀、所述第二抽真空泵和所述第二阀依次串联设置在所述第一管路上; 氦气检测组件,所述氦气检测组件包括第二管路、第三阀和氦质谱检漏仪,所述第二管路的一端与所述第一管路的位于所述第二抽真空泵和所述第二阀之间的部分连通,另一端连接所述氦质谱检漏仪,所述第三阀串联设置在所述第二管路上; 第一真空度检测件,所述第一真空度检测件连通所述检漏舱; 低温泵泵体检测组件,所述低温泵泵体检测组件包括第三管路、第二真空度检测件、第四管路和第四阀,所述第三管路位于所述检漏舱内且一端延伸至所述检漏舱外,并连接所述第二真空度检测件,所述第三管路位于所述检漏舱内的另一端被配置为用于连通所述低温泵泵体,所述第四管路位于所述检漏舱内且一端连通所述第三管路,另一端延伸至所述检漏舱外并连通所述第一管路的位于所述第一阀和所述第二抽真空泵之间的部分,所述第四阀串联设置在所述第四管路上; 氦气充入组件,所述氦气充入组件包括第五管路、氦气储存件和第五阀,所述第五管路的一端连通所述检漏舱,另一端连通所述氦气储存件,所述第五阀串联设置在所述第五管路上; 氦气浓度检测件,所述氦气浓度检测件连通所述检漏舱; 第一校准组件,包括第六阀以及通过所述第六阀连通所述检漏舱的第一校准漏孔; 第二校准组件,包括第七阀以及通过所述第七阀连通所述第三管路的第二校准漏孔。
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