买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种加热冷却集成型八边溅射机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121407038B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511998497.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种加热冷却集成型八边溅射机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加热冷却集成型八边溅射机在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射技术领域，具体为一种加热冷却集成型八边溅射机，包括主腔体以及安装在其外侧的反应腔，且主腔体的前侧中部位置安装有处理腔，而且处理腔的上方固定有相机，所述主腔体的内部安装有夹送运输机构，所述处理腔的左右两侧均设置有与主腔体相连接的温控腔，且温控腔的内部连接有承载座，并且承载座的内部安装有下集成盘。该加热冷却集成型八边溅射机，下集成盘和上集成盘可实现冷却和加热功能，两功能同时只能使用一种，继而便于温控腔满足不同的使用需求，无需对物料进行转移，操作便捷，提高了加热或冷却的效率，同时可在六个面上依次安装六个反应腔，提高了八边溅射机对电子专用材料的制造效率。

本发明授权一种加热冷却集成型八边溅射机在权利要求书中公布了：1.一种加热冷却集成型八边溅射机，包括主腔体1以及安装在其外侧的反应腔2，且主腔体1的前侧中部位置安装有处理腔5，而且处理腔5的上方固定有相机51，所述主腔体1的内部安装有夹送运输机构6，其特征在于：所述处理腔5的左右两侧均设置有与主腔体1相连接的温控腔3，且温控腔3的内部连接有承载座7，并且承载座7的内部安装有下集成盘8，而且下集成盘8的上方焊接连接有上集成盘9，所述下集成盘8和上集成盘9之间的空间内用于暂存冷却液，且上集成盘9的上表面开槽安装有加热丝组件13，而且上集成盘9的上表面内部安装有扩充组件，所述上集成盘9的上表面连接有防护组件，所述承载座7的底面中部位置贯穿安装有进水管71，且位于进水管71左侧的承载座7内贯穿安装有排水管72，并且进水管71的上端与下集成盘8的内部相连通，所述下集成盘8的上表面中部位置等间距开设有分流孔81，且分流孔81的下方与进水管71的上方内部相连通，并且位于分流孔81外侧的下集成盘8的上表面开设有相连通的分流槽82和汇流槽83，而且汇流槽83的最低点低于分流槽82的最低点，所述上集成盘9呈倒置“U”形状设置，所述扩充组件包括上端密封安装在上集成盘9上表面内部开设的槽内的扩撑布141，且扩撑布141的下表面内部贯穿安装有调控杆14，而且扩撑布141呈“U”形状设置，且调控杆14呈“T”形状设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。