买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121428484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511998525.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构，涉及蒸镀机晶圆输送技术，包括安装于蒸镀机内部上方的承载平台，并且承载平台的上方左侧设置有升降油缸；所述承载平台的下方设置有对接机构，且对接机构包含有托底载环；其中，托底载环用于接触晶圆移载盘的底端；所述承载平台的右侧设置有输送机构，且输送机构包含有输送叉杆。该Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构，通过输送叉杆带动晶圆本体输送时，穿过蒸镀机内部的分隔竖板实现粉尘碎屑的清理，防止残留影响蒸镀效果，并通过托底载环与冷却压盘在镀膜低熔点材料时进行精准温控，让材料不过热融化产生挂流现象。

本发明授权一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构在权利要求书中公布了：1.一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构，包括安装于蒸镀机内部上方的承载平台1，且承载平台1的上方中部固定安装有冷却循环管2，并且承载平台1的上方左侧设置有升降油缸3； 其特征在于，还包括： 所述承载平台1的下方设置有对接机构，且对接机构包含有托底载环4，并且托底载环4的侧边固定连接于升降滑杆5的底端； 其中，托底载环4用于接触晶圆移载盘6的底端，并且晶圆移载盘6的内部放置有晶圆本体29； 所述承载平台1的右侧设置有输送机构，且输送机构包含有输送叉杆30，并且输送叉杆30的左端呈圆弧形叉状结构托举于晶圆移载盘6的外侧进行输送； 所述对接机构包含有冷却压盘7，且冷却压盘7固定安装于冷却循环管2的底端，并且冷却压盘7的内部开设有冷却流道8，而且冷却流道8呈螺旋状结构与冷却循环管2之间贯通连接； 所述输送机构包含有分隔竖板9，且分隔竖板9固定安装于承载平台1的右端下方，并且分隔竖板9的内部开设有传输开窗10，而且传输开窗10的内部滑动安装有密封隔板11，同时密封隔板11与传输开窗10上下两侧均呈斜面结构相互贴合； 所述输送机构包含的升降丝杆14通过轴承转动安装于分隔竖板9的左侧，且升降丝杆14的上端开设有螺旋导槽15，并且升降丝杆14通过螺旋导槽15与升降支架16的右端螺旋连接，而且升降支架16的左端固定连接于升降滑杆5的上端，使得升降支架16在升降丝杆14的上端进行滑动，并由螺旋导槽15带动升降丝杆14进行旋转； 所述输送机构包含有轴承转动设置于传输开窗10内部前后两侧传动转辊24，且传动转辊24的底端固定安装有传动齿轮25，并且传动齿轮25的左侧啮合连接有传动齿条26，而且传动齿条26滑动安装于分隔竖板9的内部前后两侧，同时传动齿条26的下端固定设置有密封塞杆27； 所述输送机构包含的密封塞杆27远离传动齿条26的一端滑动安装于喷送罐体22的内部，且喷送罐体22的外端固定安装有密封盖体28，用于在输送叉杆30带动晶圆本体29穿过分隔竖板9时针对颗粒尘污、碎片进行清理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。