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苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种泄漏自检型真空蒸镀机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121451121B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610002773.6,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种泄漏自检型真空蒸镀机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2026-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种泄漏自检型真空蒸镀机在说明书摘要公布了:本发明涉及真空蒸镀技术领域,具体为一种泄漏自检型真空蒸镀机,包括蒸镀机壳体以及贯穿安装在其顶部的载具旋转机构,且蒸镀机壳体的底面内部安装有蒸镀组件,所述蒸镀机壳体的后侧固定有抽真空腔室,且抽真空腔室的后侧上方通过抽真空管连接有初抽真空机构,用于对蒸镀机的工作环境进行初步抽真空,而且抽真空腔室的后侧底部通过抽真空框安装有抽高真空机构,用于对蒸镀机的工作环境进行抽高真空,所述抽真空管的外侧安装有自检组件。该泄漏自检型真空蒸镀机,便于对抽真空管内的气体进行泄漏自检,便于及时提醒工作人员来进行维修,避免影响后期抽真空的效果和效率,使得真空蒸镀机很好的对电子专用材料进行制造。

本发明授权一种泄漏自检型真空蒸镀机在权利要求书中公布了:1.一种泄漏自检型真空蒸镀机,包括蒸镀机壳体1以及贯穿安装在其顶部的载具旋转机构3,且蒸镀机壳体1的底面内部安装有蒸镀组件,并且蒸镀机壳体1的前侧连接有观察门2,其特征在于:所述蒸镀机壳体1的后侧固定有抽真空腔室5,且抽真空腔室5的后侧上方通过抽真空管10连接有初抽真空机构8,用于对蒸镀机的工作环境进行初步抽真空,而且抽真空腔室5的后侧底部通过抽真空框11安装有抽高真空机构9,用于对蒸镀机的工作环境进行抽高真空,所述抽真空管10的外侧安装有自检组件; 自检组件包括贯穿设置在抽真空管10外侧的检测密封框12、监测密封盖14和封堵块15,且检测密封框12、监测密封盖14和封堵块15的内侧均通过密封圈与抽真空管10的外侧面密封连接,监测密封盖14靠近检测密封框12的一侧安装有封堵块15,并且封堵块15的外侧面通过密封圈与检测密封框12的内侧壁密封连接,所述检测密封框12的上表面内部贯穿安装有检测腔16,且检测腔16的内部贴合连接有第一活塞组件18,并且第一活塞组件18的上端贯穿检测腔16的上表面与限位盘17相连接,且限位盘17的直径大于第一活塞组件18的上端直径,而且位于第一活塞组件18上方的检测腔16内侧壁安装有压力传感器19,检测密封框12靠近监测密封盖14的一侧开设有容置槽121和卡接槽122,且容置槽121的外侧连通有卡接槽122,并且容置槽121的内部凹凸配合连接有监测密封盖14,所述监测密封盖14的外侧开槽安装有连接柱20和按压块22,且连接柱20的外侧固定有按压块22,并且连接柱20的一端通过复位弹簧21与监测密封盖14的内部相连接,连接柱20的另一端插入到卡接槽122内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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