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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利转速检测方法及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121476630B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610013902.1，技术领域涉及：G01P3/36；该发明授权转速检测方法及检测系统是由马法君;邢志刚;刘超;徐春阳;陈凯辉设计研发完成，并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本转速检测方法及检测系统在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，提供一种转速检测方法及检测系统，方法包括：提供半导体设备和光学检测装置；获取在不同理论转速比和不同进入自转座角度下自转座所对应模型表面的模拟轨迹信息；根据模拟轨迹信息建立标准脉冲柱形图，以获得理论柱峰数量、理论柱峰宽度、理论转速比和进入自转座角度之间的理论对应关系；通过光学检测装置获得实测检测数据；根据实测检测数据得到实测脉冲柱形图；根据实测脉冲柱形图、理论对应关系以及公转座的转速得到自转座的自转速度。本方法通过建立理论对应关系，不依赖于公转座的驱动脉冲触发信号，也无需对设备进行结构改造，实现了对自转座自转速度的检测，适用于各种类型半导体设备的自转座测速。

本发明授权转速检测方法及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种转速检测方法，其特征在于，包括： S1：提供半导体设备和光学检测装置，所述半导体设备包括用于承载基片的自转座、用于承载所述自转座的公转座、用于驱动所述公转座公转的旋转装置，以及设于所述公转座并用于驱动所述自转座自转的气体通道，所述光学检测装置用于出射检测光束以获取所述公转座表面的基片区域以及基片外区域的检测数据，所述基片区域与所述基片外区域的检测数据之间具有差异性以生成脉冲柱形图； S2：获取在不同理论转速比和不同的进入自转座角度下所述自转座所对应模型表面的模拟轨迹信息，所述理论转速比为所述自转座的自转速度与所述公转座的转速之比； S3：根据所述模拟轨迹信息建立标准脉冲柱形图，获得理论柱峰数量、理论柱峰宽度、所述理论转速比和所述进入自转座角度之间的理论对应关系； S4：将所述基片放置于所述自转座，控制所述旋转装置带动所述公转座公转，向所述气体通道提供驱动气体带动所述自转座自转，通过所述光学检测装置获取所述基片区域和所述基片外区域的实测检测数据； S5：根据所述实测检测数据得到实测脉冲柱形图； S6：根据所述实测脉冲柱形图、所述理论对应关系以及步骤S4中所述公转座的转速得到所述自转座的自转速度。

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