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龙图腾网获悉海克斯康制造智能技术(深圳)有限公司申请的专利一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121502625B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610043270.3，技术领域涉及：G06F18/2433；该发明授权一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统是由徐宏超;李佳昌;滕保健设计研发完成，并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统。包括运动数据采集模块、异常测量动作识别模块、探测动作生成模块、主动探测模块和异常特征对比模块。系统通过运动特征相关性分析判定单轴异常或耦合异常，针对高频次异常生成包含单轴探测路径和多轴联动探测路径的探测序列，在设备空闲时段主动执行。通过对比单轴与多轴联动探测的运动特征差异判定故障来源，通过空载与载荷状态特征对比及载荷组间差异度梯度区分异常来源，并基于时域‑频域‑时序形态多维特征指纹库实现故障类型识别，形成完整的异常探测与诊断体系。

本发明授权一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统在权利要求书中公布了：1.一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统，其特征在于，包括： 运动数据采集模块，采集三坐标测量设备各运动轴的位置、速度和加速度时序数据； 异常测量动作识别模块，根据所述时序数据提取测量动作的运动特征并与正常测量动作特征库进行比对，当偏差超过预设阈值时识别为异常测量动作并输出异常类型和运动特征，当检测到多个运动轴同时出现异常时计算各运动轴运动特征的相关性，判定为单轴异常或耦合异常； 探测动作生成模块，统计异常测量动作的出现频次，提取高频次异常测量动作的运动参数区间，基于所述运动参数区间生成针对性探测动作序列，所述探测动作序列包括单轴探测路径和多轴联动探测路径； 主动探测模块，在设备空闲时段控制三坐标测量设备执行所述探测动作序列，采集空载状态下的运动响应数据，识别是否出现异常测量动作，并针对耦合异常通过对比单轴探测与多轴联动探测的运动特征差异判定故障来源； 异常特征对比模块，计算主动探测状态下的运动特征与生产测量状态下相同类型异常的运动特征之间的相似度，根据相似度判定异常来源于设备自身退化或工艺环境因素，并通过异常指纹库匹配识别具体故障类型，所述异常指纹库存储多种已知故障类型的多维特征指纹。

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