北京北方华创微电子装备有限公司刘育恒获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种冷阱装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224024298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520347504.4，技术领域涉及：B01D8/00；该实用新型一种冷阱装置及半导体工艺设备是由刘育恒;徐文涛;陈志兵;张业;李宏印;刘远航;朱寒冰设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷阱装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种冷阱装置及半导体工艺设备，冷阱装置包括：壳体，壳体内具有容置空间，且壳体具有与容置空间连通的进气口、出气口以及维护窗口；冷凝管，设置于容置空间内，并与壳体的内壁之间具有第一间隙，冷凝管的顶端与壳体的顶壁可拆卸连接；维护窗口用于供冷凝管进出容置空间；过滤桶，设置在冷凝管内与冷凝管固定连接，过滤桶内部与出气口连通，且过滤桶与冷凝管的内壁之间具有第二间隙；维护盖板，设置于维护窗口处，用于关闭或打开维护窗口；冷阱装置配置为经进气口进入到容置空间内的气体依次经第一间隙、第二间隙进入过滤桶后经出气口排出。本申请在维护时不需要拆卸外桶以及蝶阀、角阀等组件，因而可以降低过滤桶的维护操作难度。
本实用新型一种冷阱装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种冷阱装置，其特征在于，包括： 壳体，所述壳体内具有容置空间，且所述壳体具有与所述容置空间连通的进气口、出气口以及维护窗口； 冷凝管，设置于所述容置空间内，并与所述壳体的内壁之间具有第一间隙，所述冷凝管的顶端与所述壳体的顶壁可拆卸连接；所述维护窗口用于供所述冷凝管进出所述容置空间； 过滤桶，设置在所述冷凝管内与所述冷凝管固定连接，所述过滤桶内部与所述出气口连通，且所述过滤桶与所述冷凝管的内壁之间具有第二间隙； 维护盖板，设置于所述维护窗口处，用于关闭或打开所述维护窗口； 所述冷阱装置配置为经所述进气口进入到所述容置空间内的气体依次经所述第一间隙、所述第二间隙进入所述过滤桶后经所述出气口排出。
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